Вплив структури поруватого шару кремнію на адсорбцію газів
| Автори | А.П. Оксанич , С.Е. Притчин , М.А. Мащенко, О.Ю. Бобришев |
| Приналежність |
Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського, вул. Першотравнева, 20, 39600 Кременчук, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 4 |
| Дати | Одержано 29 квітня 2020; у відредагованій формі 20 серпня 2020; опубліковано online 25 серпня 2020 |
| Посилання | А.П. Оксанич, С.Е. Притчин, М.А. Мащенко, О.Ю. Бобришев, Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 4, 04020 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(4).04020 |
| PACS Number(s) | 61.43.Gt, 07.07.Df, 81.05.Rm |
| Ключові слова | Поруватий шар (2) , Сенсор (40) , Кремній (85) , Інфрачервона Фур’є спектроскопія. |
| Анотація |
Досліджувався вплив морфології і структури кристалітів пористого шару p-Si на адсорбцію сенсорів газу. Поруватий шар отримували електрохімічним анодуванням при варіації струму анодування в діапазоні 10-60 мА і часу анодування в діапазоні 5-30 хв. Сенсори створювалися як структури p-Si: PdAu-Si:GeAuNiAu методом електронно-променевого напилення. Методом оптичної мікроскопії досліджувалась поверхня поруватого шару і методом FTIR досліджено структуру кристалітів. Установлено, що режими анодування безпосередньо впливають на деформаційні коливання групи SiHx в діапазоні хвильових чисел 700-950 см – 1. На межах кристалітів виникають стискаючі напруги, які викликають зменшення зв'язку Si–O–Si в діапазоні хвильових чисел 1060-1160 см – 1. Показаний ефект зростання впливу розтягувальних зв'язків SiHn і комплексів SiOxHy (піки поглинання 2116 см – 1 і 2340 см – 1 відповідно). Варіація часу анодування надає більш сильний вплив на структуру поруватого шару, ніж варіація струму анодування. Визначення адсорбційної чутливості поруватого шару проводилося по значенню відносної зміни провідності. Отримані дані дозволяють зробити висновок про вплив режиму анодування на адсорбцію газових сенсорів, які корелюються з даними, отриманими методом FTIR, для структури кристалітів. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Виготовлення та характеристика поліанілінових нановолоконних плівок різними методиками [04001-1-04001-5]2) Нелінійна модель розм’якшення поверхні льоду при терті, що враховує просторову неоднорідність температури [04002-1-04002-6]
3) Вплив різних режимів термічної обробки на електричні властивості та мікроструктуру n-Si [04003-1-04003-5]
4) Синтез та характеристика температурно-контрольованих наночастинок SnO2, виготовлених методом твердотільної реакції [04004-1-04004-6]
5) Моделювання динаміки руйнування двовимірного карбіду титану Ti2C при різних типах навантаження розтягу [04005-1-04005-4]
6) Особливості структурної організації наноалмазів у матриці поліетиленгліколю [04006-1-04006-6]
7) Характеристика кристалічної структури та магнітних властивостей результатів синтезу наночастинок таотриманих за допомогою методу співосадження [04007-1-04007-4]
8) Вплив рН на морфологію структури і магнітні властивості впорядкованої фази наночастинок кобальт-заміщеного літієвого фериту, синтезованого золь-гель методом [04008-1-04008-7]
9) Низькопрофільна ультраширокосмугова мікросмужкова антена на основі LTCC для додатків міліметрового діапазону до 100 ГГц [04009-1-04009-6]
10) Виготовлення та інтерпретація композиту цинку-церію: структурні та теплові дослідження [04010-1-04010-5]
11) Особливості початкової стадії формування квазікристалічних тонких плівок системи Ti-Zr-Ni [04011-1-04011-6]
12) Структурні дослідження механічно легованого порошку [04012-1-04012-5]
13) Адсорбція водню на іонах Li+ та Na+, оздоблених короненом та корануленом: DFT, SAPT0 та IGM дослідження [04013-1-04013-6]
14) Реалізація системи зонду Кельвіна для обробки поверхні напівпровідника [04014-1-04014-6]
15) Вплив слабкого обмеження на оптичні властивості хімічно синтезованих наночастинок ZnS [04015-1-04015-5]
16) Вплив векторного параметра порядку на динаміку 3D ультракоротких імпульсів у вуглецевих нанотрубках [04016-1-04016-4]
17) Структурні, оптичні та електричні властивості легованих Ce наночастинок SnO2, підготовлених методом горіння гелю з додаванням поверхнево-активних речовин [04017-1-04017-6]
18) Структурно-механічні дослідження сегнетоелектриків BaxPb1 − xTiO3 в залежності від температури спікання [04018-1-04018-5]
19) Вплив концентрації наночастинок на характеристики трансформаторної олії [04019-1-04019-4]
20) Випромінювання світла з кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією [04021-1-04021-5]
21) Вирощування кристалів та електрооптичні характеристики сполуки In2Se2.7Sb0.3 [04022-1-04022-4]
22) Енергія електронів у прямокутних та циліндричних квантових дротах [04023-1-04023-5]
23) Комірка пам'яті 6T-SRAM з наднизьким енергоспоживанням, високим SNM, швидкодією і високою температурою в 3C-SiC за 130 нм технологією CMOS [04024-1-04024-4]
24) Вимірювання кута атаки ракетного аерофізічного комплексу в польоті на основі датчика Холла і електронної вимірювальної системи [04025-1-04025-5]
25) Особливості пружних та непружних властивостей радіаційно зв’язаних гідрогелів [04026-1-04026-5]
26) Структурні та оптичні властивості полікристалічного нанопорошку ZnO, синтезованого методом прямого осадження [04027-1-04027-5]
27) Удосконалення базової моделі сонячного колектора для PVT системи [04028-1-04028-5]
28) Вплив оксиду графену на властивості та вивільнення лікарських засобів з апатит-полімерних композитів [04029-1-04029-7]
29) Адгезійна міцність нанокомпозитних покриттів TiZrN/TiSiN на підкладці зі сталі з перехідним підшаром [04030-1-04030-6]
30) Термічний вплив на морфологію поверхні іонно-плазмового покриття [04031-1-04031-5]
31) Деякі властивості та структурні особливості композитних ПВХ/Сu плівок з наночастинками міді, отриманих методом електричного вибуху провідника [04032-1-04032-5]
32) Порівняльний аналіз застосування деяких карбонових матеріалів як контрастних речовин для фотоакустичної томографії [04033-1-04033-6]
33) Динаміка електропружної сферичної оболонки з заповнювачем при прийомі звуку [04034-1-04034-7]
34) Вплив хімічного складу і температури електроліту на розмір та структуру нанокристалів сульфіду кадмію, отриманих електролітичним методом [04035-1-04035-6]
35) Морфологічні особливості нанопористої структури гранул аміачної селітри на стадії фінального сушіння в багатоступеневих апаратах [04036-1-04036-6]
36) До теорії супергетеродинних ЛВЕ з поздовжнім електростатичним ондулятором [04037-1-04037-5]
37) Експериментальне дослідження розподілу енергії при осадженні сфокусованим іонним променем в іонно-променевій літографії [04038-1-04038-3]
38) Особливості магнетокалорічного ефекту в феромагнітних циліндричних нанодротах, що містять доменну стінку [04039-1-04039-3]
