Results (2):
| Назва | Deposition and Surface Modification of Low-K Thin Films for ILD Application in ULSI Circuits | |
| Автори | Y.S. Mhaisagar, B.N. Joshi, A.M. Mahajan | |
| Випуск | Том 3, Рік 2011, Номер 1, Part 1 | |
| Сторінки | 0106 - 0110 | |
| Назва | Sol-Gel Deposited Porogen Based Porous Low-k Thin Films for Interlayer Dielectric Application in ULSI Circuits | |
| Автори | Yogesh S. Mhaisagar, A.M. Mahajan | |
| Випуск | Том 4, Рік 2012, Номер 3 | |
| Сторінки | 03002-1 - 03002-3 | |
