Назва | Вплив нагрівання газу і RF потужності розпилення на електричні, структурні та оптичні властивості тонких плівок ITO | |
Автори | O. Boussoum, M.S. Belkaid, C. Renard, G. Halais, F. Farhati | |
Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 2 | |
Сторінки | 02010-1 - 02010-7 |