| Заголовок |
Структурные, механические и оптические свойства плазмохимических Si-C-N пленок |
| Автор(ы) |
А.А. Козак, В.И. Иващенко, А.К. Порада, Л.А. Иващенко, Т.В. Томила |
| Выпуск |
Том 6, Год 2014, Номер 4 |
| Страницы |
04047-1 - 04047-5 |
| Заголовок |
Оптические свойства плазмохимических гидрогенизированных Si-C-N пленок |
| Автор(ы) |
А.А. Козак, В.И. Иващенко, А.К. Порада, Л.А. Иващенко, В.Я. Малахов, Т.В. Томила |
| Выпуск |
Том 7, Год 2015, Номер 3 |
| Страницы |
03040-1 - 03040-6 |
| Заголовок |
Фотолюминесцентные свойства PECVD пленок на основе Si, C, N |
| Автор(ы) |
А.К. Порада, В.С. Манжара, А.А. Козак, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко |
| Выпуск |
Том 9, Год 2017, Номер 2 |
| Страницы |
02022-1 - 02022-6 |
