Результаты (1):

Заголовок Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления
Автор(ы) И.Ю. Гончаров, Д.А. Колесников, В.Ю. Новиков, М.Г. Ковалева, С.В. Литовченко, Б.А. Мазилин, Д.В. Горох, В.М.Береснев, David Alejandro Diaz Yanez
Выпуск Том 10, Год 2018, Номер 3
Страницы 03028-1 - 03028-5