Результаты (2):

Заголовок Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC
Автор(ы) A.P. Kuzmenko, A.S. Chekadanov, S.V. Zakhvalinsky, E.A. Pilyuk, M.B. Dobromyslov
Выпуск Том 5, Год 2013, Номер 4
Страницы 04025-1 - 04025-3
Заголовок RF Magnetron Sputtering of Silicon Carbide and Silicon Nitride Films for Solar Cells
Автор(ы) V.S. Zakhvalinskii, E.A. Piljuk, I.Yu. Goncharov, V.G. Rodriges, A.P. Kuzmenko, S.V. Taran, P.A. Abakumov
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 3
Страницы 03062-1 - 03062-3