Механізм та умови формування наноострівцевих структур при вакуумному відпалі надтонких металевих плівок

Автори С.В. Томілін, О.С. Яновський
Приналежність

Кафедра фізики напівпровідників, Запорізький національний університет, вул. Жуковського, 66, 69600 Запоріжжя, Україна

Е-mail tomilin_znu@mail.ru
Випуск Том 5, Рік 2013, Номер 3
Дати Одержано 01.03.2013, у відредагованій формі - 30.06.2013, опубліковано online - 12.07.2013
Посилання С.В. Томілін, О.С. Яновський, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 3, 03014 (2013)
DOI
PACS Number(s) 68.55.– a
Ключові слова Тонка плівка (23) , Вакуумний відпал, Дифузія (31) , Наноострівець, РЕМ (138) .
Анотація В роботі представлені теоретичні та експериментальні результати досліджень наноострівцевих металевих покриттів на напівпровідникових підкладках, отриманих при вакуумному відпалі надтонких суцільних плівок. Експериментально показано, що формування острівцевої структури можливе тільки для плівок з товщиною більшою за деяке значення. Дослідження поверхневої морфології плівок проводилось з використанням РЕМ.

Перелік посилань