Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора

Автори О.С. Кузема1 , П.О. Кузема2
Приналежність

1 Сумський національний аграрний університет, вул. Кірова, 160, 40021 Суми, Україна

2 Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України, вул. Генерала Наумова, 17, 03164 Київ, Україна

Е-mail nikonorov@ukr.net
Випуск Том 5, Рік 2013, Номер 3
Дати Одержано 15.04.2013, у відредагованій формі - 12.05.2013, опубліковано online 17.10.2013
Посилання О.С. Кузема, П.О. Кузема, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 3, 03045 (2013)
DOI
PACS Number(s) 07.75. + h
Ключові слова Іонний зонд, Магнітна призма, Фокусування іонів (2) , Енергоаналізатор, Мас-аналізатор (3) , Електростатична лінза, Роздільна здатність (5) .
Анотація Розглянуто іонно-оптичні властивості і характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів у якості енергоаналізатора застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це дозволило покращити параметри приладу і зменшити його габарити.

Перелік посилань

English version of article