Формування прецизійного пучка протонів у зондовій системі з індивідуальними джерелами живлення магнітних квадрупольних лінз (результати експерименту)

Автори Г.О. Пономарьова1, Д.В. Магілін2, Г.С. Воробйов1, О.Г. Пономарьов2
Приналежність

1 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна

2 Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавлівськая, 58, 40030 Суми, Україна

Е-mail ponomareva_a_a@pochta.ru
Випуск Том 5, Рік 2013, Номер 1
Дати Одержано 10.01.2013, опубліковано online - 28.03.2013
Посилання Г.О. Пономарьова, Д.В. Магілін, Г.С. Воробйов, О.Г. Пономарьов, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 1, 01030 (2013)
DOI
PACS Number(s) 2.82.Cr, 81.16.Nd
Ключові слова Магнітна квадрупольна лінза (2) , Протонна пучкова літографія, Пучок протонів, Ядерний скануючий мікрозонд (2) .
Анотація Обґрунтовано необхідність розробки нових зондових систем формування пучків протонів МеВ-них енергій у літографічних технологіях високого розрізнення. Наведено опис експериментального пристрою ядерного скануючого мікрозонду й умов проведення експерименту при визначенні параметрів сформованого пучка: величина тока й розмірів зонда. Дані експерименту показали більш ніж трикратне збільшення щільності току в зонді для запропонованої системи – квадруплета магнітних квадрупольних лінз з індивідуальними джерелами живлення в порівнянні з конвенціальною системою, розділеним «російським квадруплетом».

Перелік посилань

English version of article