Вплив температури вакуумного відпалу на бінарну систему Ni/Si(100)
| Автори | R. Mezouar1, A. Merabet2, A. Bahloul3 |
| Приналежність |
1 Laboratoire Matériaux et Systèmes Electroniques, Université Mohamed El Bachir El Ibrahimi de Bordj Bou Arreridj, Bordj Bou Arreridj 34000, Algérie 2 Institue d’Optique et Mécanique de Précision, Université Farhat Abbas Setif, 19000, Algérie 3 Département de Génie de l’Environnement, Université Mohamed El Bachir El Ibrahimi de Bordj Bou Arreridj, Bordj Bou Arréridj 34000, Algérie |
| Е-mail | mezouar_r@yahoo.fr |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 6 |
| Дати | Одержано 25 липня 2020; у відредагованій формі 15 грудня 2020; опубліковано online 25 грудня 2020 |
| Посилання | R. Mezouar, A. Merabet, A. Bahloul, Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 6, 06005 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(6).06005 |
| PACS Number(s) | 61.05.C –, 68.37.Ps |
| Ключові слова | Силіцид (6) , Випаровування за ефектом Джоуля, Питомий поверхневий опір, RCA (6) , XRD (90) , AFM (18) , RMS (4) . |
| Анотація |
Металеві силіцидні плівки широко застосовуються в мікроелектронній промисловості, де їх використовують як випрямлячі та омічні контакти. Більшість металів вступає в реакцію з кремнієм, утворюючи силіцид; осадження тонкого металевого шару отримують різними техніками. Поширеними методами є вакуумне випаровування з ниткою розжарювання або електронною гарматою, розпилення та хімічне осадження з парової фази. Вакуумне осадження тонкого шару металу на кремнієву підкладку є одним з найбільш широко використовуваних методів. Металеву силіцидну плівку вирощують на кремнієвій підкладці, а потім відпалюють при різних теплових умовах. У роботі для підготовки силіцидної плівки ми використовували як методику вакуумне випаровування PVD (фізичне осадження з парової фази) за допомогою нікелевої (Ni) нитки розжарювання високої чистоти. На підкладку природно окисленого Si(100) після високочастотної підготовки поверхні наносяться два шари нікелю з товщинами 56 нм і 35 нм. Потім ці різні зразки (Ni(56 нм)/Si(100) та Ni(35 nm)/Si(100)) відпалюють у вакуумі при різних температурах, рівних 350, 500, 650 та 750 °C, протягом 30 хв. Характеристика отриманих шарів проводилася наступними методиками: рентгенівською дифракцією (XRD) для вивчення структури плівок (фазова ідентифікація), чотириточковим зондом для вимірювання питомого поверхневого опору фази/фаз та дослідження шорсткості поверхні проводили за допомогою атомно-силової мікроскопії (AFM). Ріст Ni на природно окислених підкладках Si(100) вивчався різними методами, які підтвердили, що температура вакуумного відпалу має дуже важливий ефект, оскільки моносиліцидна фаза NiSi виникає від 650 °C. Морфологічний аналіз поверхні розділу виявив наявність різних фаз NiSi, NiO та Ni2O3, що підтверджується структурним аналізом. Крім того, спостерігалася добра узгодженість результатів XRD з результатами вимірювання питомого поверхневого опору та середньоквадратичної шорсткості поверхні. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Аналіз самонагрівання SiGe HBT, призначеного для ВЧ-застосувань, за процентним вмістом германію [06001-1-06001-5]2) Вплив обмеження електрона в подвійній квантовій ямі на екситонні властивості квантового кільця GaSb [06002-1-06002-5]
3) Можливості керування динамічними властивостями циліндричного п'єзокерамічного акустоелектронного пристрою з двочастотним резонансним збудженням [06003-1-06003-6]
4) Порівняння продуктивності недорогих сонячних елементів TiO2 та ZnO, сенсибілізованих за допомогою кумарину C343 [06004-1-06004-6]
5) Моделювання та аналіз продуктивності транзисторів GAA SNSTFT із затвором з потрійним матеріалом [06006-1-06006-4]
6) Покращена продуктивність інтегрованого піроелектричного інфрачервоного детектора на гнучкій підкладці: моделювання та симуляція [06007-1-06007-4]
7) Теоретичне прогнозування деяких фізичних властивостей трикомпонентних сплавів BxAl1 – xSb [06008-1-06008-5]
8) Вплив заміщення Mn2+ на оптичні властивості нових наночастинок CaLi2O2, синтезованих методом золь-гелю [06009-1-06009-5]
9) Нова широкосмугова частково відбиваюча поверхня для покращення коефіцієнта посилення антени [06010-1-06010-4]
10) Обробка воднем плазмонного резонансного датчика [06011-1-06011-6]
11) Числове моделювання параметрів польових транзисторів GAA SiNWFET на основі нанодротів [06012-1-06012-4]
12) Теоретичне вивчення електронних властивостей нікелевих кластерів [06013-1-06013-5]
13) A New Approach for One-step Synthesis of Perovskite:fullerene Bulk Heterojunction Using Surfactant Free Microemulsion in Slot Die Method [06014-1-06014-7]
14) Вдосконалення фізичної моделі сонячних елементів на основі GaAs [06015-1-06015-6]
15) Метастабільні стани і фізичні властивості збагачених бором W-B плівок [06016-1-06016-5]
16) Три-стадійна кінетична модель для самозагасаючих дефектів в крихких твердих тілах [06017-1-06017-6]
17) Конвергентний підхід до ідентифікації перехідних станів динамічної системи [06018-1-06018-4]
18) Врахування поправок при дослідженні властивостей речовин рентгенівським методом [06019-1-06019-5]
19) Електротермомеханічне тертя мокрих деталей автомобільних дисково-колодкових гальм [06020-1-06020-8]
20) Оперативний розрахунок напруги проколу бази дрейфових n-p-n транзисторів в інверсному режимі роботи [06021-1-06021-4]
21) Визначення рефрактивних параметрів в кристалі Tl3TaS4 [06022-1-06022-4]
22) Структура та транспортні властивості одностінних вуглецевих нанотрубок, модифікованих кобальт-вмісними комплексами [06023-1-06023-7]
23) Структура, морфологія та електропровідні властивості Sn-легованого ТіО2 [06024-1-06024-7]
24) Вплив гомогенізації на проявлення надпластичності і мікронадпластичності алюмінієвого сплаву системи Al-Zn-Mg-Cu [06025-1-06025-8]
25) Метод хвильових матриць для моделювання хвилеводних поляризаторів із діафрагмами. Теорія [06026-1-06026-5]
26) Еволюція нанокристалічної структури кобальту при відпалі [06027-1-06027-6]
27) Динаміка зважених наночастинок у змінному в часіградієнтному магнітному полі: Аналітичні результати [06028-1-06028-5]
28) Аналітичне та чисельне вивчення енергетичного спектру надрешітки, що складається із смуг одношарового та двошарового графена [06029-1-06029-5]
29) Взаємодія електронів з акустичними фононами у AlAs/GaAlAs резонансно-тунельних наноструктурах [06030-1-06030-8]
30) Моделювання поведінки тріснутої головки плечового протеза [06031-1-06031-4]
31) Оптичні властивості Hg1 – xMnxS, Hg1 – x – уMnxFеуS, Hg1 – x – уMnxFеуSe1 – zSz [06032-1-06032-5]
32) Характеристики та електричні параметри сонячних наноелементів з кремнієвих нанодротів [06033-1-06033-4]
33) Оптимізація складу та процесу отримання гарячепресованої кераміки з підвищеними характеристиками на основі карбіду бору [06034-1-06034-5]
34) Оптимізація регульованого фільтра на фотонних кристалах для грубого мультиплексування з поділом по довжині хвилі [06035-1-06035-4]
35) Теоретичне дослідження вдосконалення продуктивності сонячних елементів на основі CIGS [06036-1-06036-4]
36) Генерація терагерцових коливань діодами з резонансно-тунельними границями [06037-1-06037-4]
37) Новий розчин для електрохімічної модифікації поверхні титану [06038-1-06038-8]
38) Дослідження морфології нанопористої структури і елементного складу гранул органо-мінеральних добрив [06039-1-06039-5]
