Розробка ВЧ іонних джерел для прискорювачів сфокусованих іонних пучків
| Автори | В.І. Возний , В.І. Мірошниченко, С.М. Мордик, Д.П. Шульга , В.Ю. Сторіжко , В.В. Токмань |
| Приналежність | Інститут прикладної фізики, Національна академія наук України, вул. Петропавловська, 58, 40000 Суми, Україна |
| Е-mail | vozny@ipflab.sumy.ua |
| Випуск | Том 5, Рік 2013, Номер 4 |
| Дати | Одержано 26.06.2013, опубліковано online - 31.01.2014 |
| Посилання | В.І. Возний, В.І. Мірошниченко, С.М. Мордик, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 5 № 4, 04060 (2013) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 41.75.Ak, 52.50.Qt, 52.80.Pi |
| Ключові слова | ВЧ джерело іонів (2) , Плазма (18) , Індуктивний, Геліконий, Мультікасповий, Розпорошувальний. |
| Анотація | Представлені результати досліджень іонних джерел, розроблених у ІПФ НАН України, для отримання високояскравісних іонних пучків з малим енергетичним розкидом. Проведено дослідження ряду іонних ВЧ-джерел, що працюють на частоті 27,12 МГц: індуктивного ВЧ-джерела, геліконового джерела, мультікаспового ВЧ-джерела та ВЧ-джерела іонів металів розпорошувального типу. Для розрахунку плазмових параметрів ВЧ-джерел розглядалася глобальна і трансформаторна моделі розряду. Проведено виміри енергетичного розкиду, масового складу та густини струму деяких джерел в широкому діапазоні ВЧ-потужності, витягаючої напруги і тиску робочого газу. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) The Control of Gold Nanoparticles on Polyester Fibers by Raman Spectrograms in Conditions of Information Uncertainty with Detection Accuracy [04001-1-04001-5]2) Феромагнетизм нанокомпозицій залізо-мідь [04001-1-04001-5]
3) Феромагнетизм нанокомпозицій залізо-мідь [04001-1-04001-5]
4) Magneto-Ellipsometry Investigations of Multilayer Nanofilms of Fe and Co [04002-1-04002-4]
5) Effective Impedance Method for In situ Ellipsometry Analysis of Magnetic Films [04003-1-04003-4]
6) High Sensitivity Magnetic Sensors Based on Off-diagonal Magnetoimpedance in Amorphous FeCoSiB Wires [04004-1-04004-4]
7) Size Dependence of the Melting Temperature of Metallic Films: Two Possible Scenarios [04005-1-04005-3]
8) Practical Simulation of Magnetic Field of Permanent Magnets System to Explore Size of Magnetic Nanoparticles [04006-1-04006-4]
9) The Synthesis of Metalcarbon Nanocomposite Ni / C on the Basis of Polyacrylonitrile [04007-1-04007-4]
10) Influence of the Ratio of Metal Composed Nanocomposites Fe-Co / C on Phase Composition [04008-1-04008-3]
11) Nanostructure Changes in Iron-Carbon Alloys as a Result of Impulse Deformation Wave Action [04009-1-04009-4]
12) Properties and Technology for Quasi-Composite Blanket Using Natural Reinforcement of the Metal by Strain Affected Areas [04010-1-04010-5]
13) Influence of Mass Transfer Processes on Couette Flow of Magnetic Fluid [04011-1-04011-3]
14) Statics of Magnetic Fluid Drop with Compound Magnetic Core in a Wedge-Shaped Channel [04012-1-04012-4]
15) Magnetic Properties of AIIBIVCV2 Compounds Doped with Mn [04013-1-04013-4]
16) Fluctuations of the Solitary Bubble at the Separation from the Air Cavity, Compressed by the Magnetic Field in Magnetic Liquid [04014-1-04014-5]
17) Magnetoresistance and Anomalous Hall Effect of InSb Doped with Mn [04015-1-04015-6]
18) The Study of Anisotropy and Domain Condition of Permalloy Thin Films [04016-1-04016-4]
19) Correlation between Phase-Structural State and Magnetic Characteristics of Spin-Valve Systems Based on Fe, Co and Au [04017-1-04017-6]
20) Stimulation of Seed Viability by Means of Dispersed Solutions of Copper and Silver Nanoparticles [04018-1-04018-3]
21) Mechanisms of Fractal Formation in Colloidal Carbon-Bearing Natural System [04019-1-04019-3]
22) The Structure and Content Peculiarities of Carbon Material Obtained under the Polyacrylonitrile Infra-red Heating [04020-1-04020-3]
23) Some Aspects of Phosphorus Diffusion in Germanium in In0,01Ga0,99As / In0,56Ga0,44P / Ge Heterostructures [04021-1-04021-3]
24) “The Thermal Wave” in Technology of Crystal Growth from the Melt [04022-1-04022-2]
25) Mechanisms of Microwave Absorption in Carbon Compounds from Shungite [04023-1-04023-3]
26) Formation of Spherical Nanoparticles BaTiO3 by Peroxide Method [04024-1-04024-2]
27) Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC [04025-1-04025-3]
28) Kinetic Characteristics, Phase and Structural Changes in Electrical Materials and Devices [04026-1-04026-3]
29) From the Dynamic Demagnitizing Factor to the Heat Capacity of a Nanodispersed Magnetic Fluid [04027-1-04027-3]
30) Influence of Brownian Diffusion on Levitation of Bodies in Magnetic Fluid [04028-1-04028-3]
31) Diode Based on Amorphous SiC [04029-1-04029-3]
32) Influence of Electroconvection on Nano- and on Microstructural Relief of the Electrodes Surface [04030-1-04030-3]
33) Mechanisms of Ions Adsorption by Nanodiamonds in Aqueous Suspensions [04031-1-04031-3]
34) Synthesis and Identification of Zinc Oxide Nanoparticles as Precursor for Getting Zinc-Based Biologically Active Additives [04032-1-04032-2]
35) Physico-Chemical Properties of Nanoparticles Functionalized by Polypyrrole [04033-1-04033-3]
36) Method of Measurement Isobaric Heat Capacity of the Organic Liquid [04034-1-04034-3]
37) Features in Formation and Properties of Langmuir-Blodgett Monolayers [04035-1-04035-2]
38) Феромагнетизм нанокомпозицій залізо-мідь [04035-1-04035-5]
39) Features of Ion-Electronic Emission from Surface of Semiconductors [04036-1-04036-3]
40) Colloidal Stability and Thermal Stability of Magnetic Fluids [04037-1-04037-3]
41) Properties and Characterizations of Powders Produced from Waste Carbides [04038-1-04038-2]
42) Interrelation of Shape and Structure of Domain Walls with Magnetic Inhomogeneities [04039-1-04039-2]
43) Opportunities of AFM in the Description of Charge Formation from the Nanostructured Electrode at Electroconvection [04040-1-04040-3]
44) Piezoelectric Characteristics of LiNbO3 Thin-film Heterostructures via Piezoresponse Force Microscopy [04041-1-04041-3]
45) Fundamental Research of Physics of Magnetic Nanodispersed Fluids as Hardware Dampers [04042-1-04042-2]
46) Method for the Determination of Magnetoelastic and Elastic Constants of Weak Ferromagnets [04043-1-04043-3]
47) Some Abnormal Properties of Water in the Cluster Model [04044-1-04044-2]
48) Atomic Force Analysis of Elastic Deformations of CD [04045-1-04045-2]
49) Importance of Nanotechnologies in Supply of Sustainable Social Economic Development in Russia [04046-1-04046-2]
50) Microfluidic Mechanics and Applications: a Review [04047-1-04047-12]
51) Effect of Annealing on Structural and Optical Properties of Cu Doped In2O3 Thin Films [04048-1-04048-4]
52) Вплив легування діоксиду титану ніобієм і цирконієм на морфологію поверхні [04049-1-04049-3]
53) FT-IR, Thermal and Optical Studies of Gel Grown Cobalt Tartrate Crystals [04050-1-04050-5]
54) Optical Properties of MgF2 / MgF2 / Glass and MgF2 / TiO2 / Glass [04051-1-04051-3]
55) Фотопровідність полімерного шару з резазурином натрію при двоквантовому збудженні [04052-1-04052-5]
56) Grain Size Induced Metal-insulator Transition in La0.7Sr0.3MnO3 Compounds [04053-1-04053-3]
57) Modeling of Field Effect Mobility Using Grain Boundaries on Nanocrystalline Silicon Thin-Film Transistor (nc-Si TFT) [04054-1-04054-3]
58) Effect of Substrates Types on CO Gas Sensing of SnO2 Thin Film Prepared by Sol-Gel Method [04055-1-04055-5]
59) Critical Dependence of Polarization Phenomena on Conductivity in Ferroelectric Polymers [04056-1-04056-9]
60) Моделювання механічно з’єднаного три-перехідного сонячного елементу GaInP / GaAs / Si [04057-1-04057-6]
61) Comparison of Atomic Level Simulation Studies of MOSFETs Containing Silica and Lantana Nanooxide Layers [04058-1-04058-3]
62) Investigating Impact of The Interfacial Debonding on The Mechanical Propertiesof NanoFiber Reinforced Composites [04059-1-04059-5]
63) Elastic, Optoelectronic and Thermal Properties of Boron Phosphide [04061-1-04061-6]
64) Design and Analysis of a High Speed, Power Efficient 8 Bit ALU Based on SOI / SON MOSFET Technology [04062-1-04062-5]
65) Preparation of Emulsion Polymerization from Styrene Vinylpyrrolidone and Studying their Thermal Stability and Electrical Conductivity [04063-1-04063-5]
66) Спектри екстинкції водних золів наночастинок сріблаяк характеристика їх розміру та полідисперсності [04064-1-04064-4]
67) The Structural and Mechanical Properties of Graphene functionalized by Atomic Oxygen [04065-1-04065-4]
68) Синтез і спектри фотолюмінесценції композитних плівок з нанокристалами сульфіду кадмію [04066-1-04066-5]
69) Імітаційне моделювання конденсації речовини у нанопосудині з використанням парного потенціалу міжатомної взаємодії [04067-1-04067-5]
70) Вплив кореляції між модами поляризації на статистичні властивості гаусівського низькоiнтенсивного випромінювання [04068-1-04068-5]
71) Модель молекулярного перемикача на основі молекули пероксиду водню [04069-1-04069-4]
72) Термоелектрична ефективність низькотемпературних генераторних матеріалів, можливості її підвищення [04070-1-04070-6]
73) До питання про ефективність електрон-фононної взаємодії у наноплівках дийодиду свинцю [04071-1-04071-3]
74) Вплив термічного окислення на процеси перенесення носіїв заряду в поруватому кремнії [04072-1-04072-4]
75) Структура та механічні властивості фуллериту С60 [04073-1-04073-4]
76) Використання трансформаторного плазмотрона для синтезу нанопорошку кремнію [04074-1-04074-4]
77) Вплив непрямої обмінної взаємодії на феромагнітний резонанс в магнітних наногранульованих плівках [04075-1-04075-6]
78) The Study of Physical Parameters of Pb Modified Germanate Chalcogenide Glass [04076-1-04076-6]
79) Studies on ZnO Nanorods Synthesized by Hydrothermal Method and their Characterization [04077-1-04077-6]
80) Моделювання атомної структури та розподілу вакансій в іонному провіднику LaxCe1/2 – xLixTiO3 [04078-1-04078-6]
81) [05030-1-05030-5]
