Температурна залежність квадратичного коефіцієнта пропорційності дифузії фосфору в германій із вільними електронами

Автори A. Souigat1,2 , M.K. Bechki1, D. Slimani1
Приналежність

1Ecole Normale Supérieure de Ouargla, Algeria

2Lab. Développement des Energies Nouvelles et Renouvelables en Zones Aride, Univ Ouargla, Fac. des Mathématiques et des Sciences de la Matière, 30000 Ouargla, Algeria

Е-mail souigataek@gmail.com
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 6
Дати Одержано 25 серпня 2019; у відредагованій формі 06 грудня 2019; опубліковано online 13 грудня 2019
Посилання A. Souigat, M.K. Bechki, D. Slimani, Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 6, 06006 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(6).06006
PACS Number(s) 68.55.Ln, 85.40.Ry
Ключові слова Фосфор (3) , Дифузія (32) , Коефіцієнт пропорційності, Германій (7) .
Анотація

Висока внутрішня мобільність носіїв, невелика заборонена зона для германію та можлива монолітна інтеграція з пристроями на основі Si спонукали відновити інтерес до германію у продовженні історичного прогресу пристроїв CMOS. Для отримання ефективних електронних пристроїв на основі германію необхідно зрозуміти дифузію домішки у цьому напівпровіднику. До цього часу, дифузія домішок n-типу в германії моделювалася, головним чином, дифузією, пропорційною квадрату концентрації вільних електронів (n). У дослідженні вивчається температурна залежність квадратичного коефіцієнта пропорційності дифузії Р від концентрації вільних електронів шляхом моделювання експериментальних профілів дифузії Р у діапазоні температур від 650 до 870 °С. Точне моделювання досягається у цьому температурному діапазоні з урахуванням квадратичної пропорційності між дифузійною рухливістю атомів фосфору та концентрацією вільних електронів.

Перелік посилань