Login | Register
Головна
Останній номер
Про журнал
Історія журналу
Склад редколегії
Про сайт журналу
Архів
Пошук
Автору
Як подати статтю?
Публікаційна політика
Правила оформлення
Подати статтю
Завантаження
Рецензенту
Політика експертної оцінки
Тематика журналу
Завантажити бланк рецензії
Back
Results (1):
Назва
Deposition and Surface Modification of Low-K Thin Films for ILD Application in ULSI Circuits
Автори
Y.S. Mhaisagar, B.N. Joshi, A.M. Mahajan
Випуск
Том 3, Рік 2011, Номер 1, Part 1
Сторінки
0106 - 0110