Results (1):

Назва Deposition and Surface Modification of Low-K Thin Films for ILD Application in ULSI Circuits
Автори Y.S. Mhaisagar, B.N. Joshi, A.M. Mahajan
Випуск Том 3, Рік 2011, Номер 1, Part 1
Сторінки 0106 - 0110