Механизм и условия формирования наноостровковых структур при вакуумном отжиге сверхтонких металлических плёнок

Автор(ы) С.В. Томилин, A.С. Яновский
Принадлежность

Кафедра физики полупроводников, Запорожский национальный университет, вул. Жуковского, 66, 69600 Запорожье, Украина

Е-mail tomilin_znu@mail.ru
Выпуск Том 5, Год 2013, Номер 3
Даты Получено 01.03.2013, в отредактированной форме – 30.06.2013, опубликовано online – 12.07.2013
Ссылка С.В. Томилин, A.С. Яновский, Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 3, 03014 (2013)
DOI
PACS Number(s) 68.55.– a
Ключевые слова Тонкая плёнка, Вакуумный отжиг, Диффузия, Наноостровок, РЭМ.
Аннотация В работе представлены теоретические и экспериментальные результаты исследований наноостровковых металлических покрытий на полупроводниковых подложках, полученных при вакуумном отжиге сверхтонких сплошных плёнок. Экспериментально показано что формирование островковой структуры возможно только для плёнок с толщиной более некоторого значения. Исследование поверхностной морфологии плёнок производилось с использование РЭМ.

Список литературы