Темплат как инструмент групповой нанотехнологии

Автор(ы) M.Ю. Барабаш
Принадлежность

Технический центр Национальной академии наук Украины, вул. Покровская,13, 04070 Киев, Украина

Е-mail bashik_77@ukr.net
Выпуск Том 5, Год 2013, Номер 3
Даты Получено 28.01.2013, опубликовано online – 12.07.2013
Ссылка M.Ю. Барабаш, Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 3, 03009 (2013)
DOI
PACS Number(s) 42.40.Kw, 42.40.Lx
Ключевые слова Темплат (3) , Электрет, Оптическая голография, Электрофотографический процесс, Самоорганизация.
Аннотация Разработана методика формирования темплата на основе фоточувствительных нанокомпозиционных материалов в электрофотографическом процессе. Пространственная модуляция рельефа поверхности и встроенного в пленку заряда осуществляется методом оптической голографии при помощи экспозиции световым полем. Методами оптической микроскопии и сканирующей силовой микроскопии показано, что формирование нанокластеров золота при напылении на поверхность темплата в вакууме происходит только в определенных, пространственно упорядоченных областях поверхности.

Список литературы