Тензорезистивные свойства тонкопленочных систем на основе Ag и Со

Автор(ы) И.М. Пазуха , З.М. Макуха, Ю.М. Шабельник , И.Е. Проценко
Принадлежность

Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

Е-mail protsenko@aph.sumdu.edu.ua
Выпуск Том 4, Год 2012, Номер 3
Даты Получено 29.09.2012; в отредактированной форме – 14.10.2012; опубликовано online 30.10.2012
Ссылка И.М. Пазуха, З.М. Макуха, Ю.М. Шабельник, И.Е. Проценко, Ж. Нано- Электрон. Физ. 4 № 3, 03020 (2012)
DOI
PACS Number(s) 60.68.Bs, 72.10.Fk, 73.63.Bd
Ключевые слова Двухслойные пленочные системы, Тензоэффект, Коэффициент тензочувствительности, Упругая и пластическая деформация, Интерфейсное рассеивание.
Аннотация
Представлены экспериментальные результаты исследования тензорезистивных свойств пленок Ag, Co и двухслойных пленочных систем на их основе в интервале деформации Δεl = 0-1 %. Показано, что пластическая деформация в слое Со приводит к аналогичной деформации во всей системе, независимо от того, что для слоя Ag диапазон деформации еще не достиг границы перехода упругая/пластическая деформация. При переходе от одно- к двухслойной системе происходит увеличение коэффициента тензочувствительности вследствие возникновения дополнительного механизма рассеивания электронов на границе раздела слоев.

Список литературы