Расчет плотности ионного тока индуктивного высокочастотного источника ионов

Автор(ы) В.И. Возный , В.Е. Сторижко , В.И. Мирошниченко , Д.П. Шульга
Принадлежность

Институт прикладной физики НАН Украины, ул. Петропавловская, 58, 40030, Сумы, Украина

Е-mail vozny@ipflab.sumy.ua
Выпуск Том 4, Год 2012, Номер 3
Даты Получено 30.03.2012; в отредактированной форме – 17.09.2012; опубликовано online – 30.10.2012
Ссылка В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, Д.П. Шульга, Ж. Нано- Электрон. Физ. 4 № 3, 03019 (2012)
DOI
PACS Number(s) 41.75.Ak, 52.50.Qt, 52.80.Pi
Ключевые слова ВЧ источник ионов, Ионный пучок, Плазма (9) , Плотность тока.
Аннотация Исследовался высокочастотный (ВЧ) индуктивный ионный источник, работающий на частоте 27,12 МГц. Используя глобальную модель аргонового разряда, рассчитана плотность плазмы, электронная температура и плотность ионного тока ВЧ-источника в зависимости от поглощенной ВЧ-мощности и давления газа при изменении размеров разрядной камеры. Установлено, что плотность тока ионного пучка возрастает при уменьшении размеров разрядной камеры. Расчеты показывают, что в индуктивном источнике с разрядной камерой диаметром 30 мм и длиной 35 мм при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности и давлении аргона 7 мТорр плотность ионного тока равна 40 мА/см2, что хорошо согласуется с экспериментально измеренной величиной 43 мА/см2. При уменьшении диаметра разрядной камеры до 15 мм плотность ионного тока может достигать величины 85 мА/см2 при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности.

Список литературы