Источники кластерного пучка. Часть 1. Методы получения кластерных пучков

Автор(ы) А.Ю. Карпенко , В.А. Батурин
Принадлежность

Институт прикладной физики НАН Украины, ул. Петропавловская, 58, 40030 Сумы, Украина

Е-mail ayk@ukr.net, baturin@ipflab.sumy.ua
Выпуск Том 4, Год 2012, Номер 3
Даты Получено 04.08.2012; опубликовано online 30.10.2012
Ссылка А.Ю. Карпенко, В.А. Батурин, Ж. Нано- Электрон. Физ. 4 № 3, 03015 (2012)
DOI
PACS Number(s) 29.25. – t, 36.40. – c, 37.20. + j, 47.45. – n, 52.59. – f, 52.65.Yy, 61.46.  – w, 81.10.  – h, 81.15.  – z
Ключевые слова Кластеры, Кластерные ионы, Источник кластерного пучка, Молекулярные пучки, Кластерообразование.
Аннотация
В статье представлен краткий обзор методов получения кластерных пучков. Рассмотрены основные типы кластерных источников и проанализированы процессы, приводящие к образованию кластеров. Приведены параметры, влияющие на работу газокластерных источников.

Список литературы

English version of article