Влияние отжига на оптические свойства и дисперсию показателя преломления нанометровых пленок CdS

Автор(ы) В.В. Кусьнэж1 , Р.Ю. Петрусь1 , Г.А. Ильчук1 , О.Я. Тузяк2
Принадлежность

1 Национальный университет "Львовская политехника", ул. С. Бандеры, 12, 79013 Львов, Украина

2 Львовский национальный университет им. И.Франка, ул. Драгоманова, 50, 79005 Львов, Украина

Е-mail w_kusnierz@polynet.lviv.ua
Выпуск Том 4, Год 2012, Номер 3
Даты Получено 07.05.2012; опубликовано online 29.10.2012
Ссылка В.В. Кусьнэж, Р.Ю. Петрусь, Г.А. Ильчук, О.Я. Тузяк, Ж. Нано- Электрон. Физ. 4 № 3, 03014 (2012)
DOI
PACS Number(s) 71.55.Gs, 81.16.Be, 68.55. – a
Ключевые слова Полупроводниковые пленки, CdS (25) , Отжиг, Оптические свойства, Дисперсия показателя преломления.
Аннотация
В работе описываются оптические свойства ультратонких (~ 50 нм) пленок CdS, полученных химическим поверхностным осаждением на прозрачных стеклянных подложках. Рассматривается влияние атмосферы (Ar2, CdCl2 и воздуха) термического отжига на спектральные зависимости коэффициентов отражения R(λ) и поглощения α(λ) пленок. По экспериментальным характеристикам рассчитаны зависимости коэффициентов экстинкции k(λ), преломления n(λ), реальной ε1(λ) и мнимой ε2(λ) частей оптической диэлектрической постоянной пленок отожженных в разных атмосферах. Определены коэффициенты формулы Зельмейера для описания зависимостей n(λ) в видимой и ближней инфракрасной области спектра.

Список литературы