Программно-аппаратный комплекс исследований оптических свойств тонких пленок

Автор(ы) М.Г. Демиденко , С.И. Проценко , К.В. Тищенко , Е.В. Федченко
Принадлежность

Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

Е-mail serhiy.protsenko@gmail.com
Выпуск Том 4, Год 2012, Номер 2
Даты Получено 12.04.2012, в отредактипрованной форме – 23.05.2012, опубликовано online 04.06.2012
Ссылка М.Г. Демиденко, С.И. Проценко, К.В. Тищенко, Е.В. Федченко, Ж. нано- электрон. физ. 4 № 2, 38 (2012)
DOI
PACS Number(s) 7.60.Fs, 06.05.cm
Ключевые слова Нуль-эллипсометрия, рентгеновская рефлектометрия, оптические коэффициенты, соотношения Френеля, генетические алгоритмы.
Аннотация Используя оптические элементы компании Torhlabs и систему графического программирования LabVIEW 2010, разработано автоматизированный программно-аппаратный комплекс для исследования оптических свойств многослойных пленочных систем. Предложен совместный генетический алгоритм для обработки экспериментальных данных нуль-эллипсометрии и рентгеновской рефлектометрии. Показано, что предложенный подход позволяет очень точно интерпретировать фазовые превращения, диффузионные процессы и размытие интерфейсов в многослойных пленочных системах при использовании различных расчетных теоретических моделей.

Список литературы