Структура и физико-механические свойства нк-TiN покрытий полученных вакуумно-дуговим осаждением и осаждением c ВЧ разрядом

Автор(ы) А.Д. Погребняк1 , А.М. Махмуд1, И.Т. Караша1, Г.В. Кирик2, Р.Ю. Ткаченко1, А.П. Шипиленко1
Принадлежность

1 Сумский государственный университет, 40007, Сумы, Украина

2 Концерн «Укрросметал» Сумы, Украина

Е-mail alexp@i.ua
Выпуск Том 3, Год 2011, Номер 4
Даты Получено 12.09.2011, в отредактированной форме – 06.12.2011, опубликовано online - 30.12.2011
Ссылка А.Д. Погребняк, А.М. Махмуд, И.Т. Караша, и др., Ж. нано- электрон. физ. 3 №4, 97 (2011)
DOI
PACS Number(s) 61.05.cm, 61.46.Hk, 62.20.Qp.68.37.Hk, 81.15. – z
Ключевые слова нк-TiN, Покрытия, РЭМ, АСМ (2) , Нанотвердость, Модуль Упругости, Адгезионные, Триботехнические и деформационные характеристики.
Аннотация
С помощью растрово-электроной микроскопии (РЭМ), ренгено-структурного анализа (РСА), адгезийной прочности, коэффициента трения и скорости износа материала, были изучены свойства покрытий нк – TiN. В зависимости от потенциала смещения, подаваемого на подложку и давления в камере, включения ВЧ разряда, показано, что совокупность различных параметров регистрируемых в процессе царапания, позволяет различать пороговые значения критической нагрузки, привязанные к различным типам когезионного и адгезионного разрушения покрытий при трибологических испытаниях. Были определены размеры нанозерен нк – TiN, стехиометрия покрытий, а также фазовый элементный составы и морфология поверхности покритый.

Список литературы