Исследование процессов синтеза слоев в системе ZnO–SnO2

Автор(ы) А.Х.Абдуев, А.К. Ахмедов, А.Ш. Асваров
Принадлежность

Институт физики им. Х.И. Амирханова ДНЦ РАН, ул. Ярагского, 94, 367015 Махачкала, Россия

Е-mail cht-if-ran@mail.ru
Выпуск Том 10, Год 2018, Номер 6
Даты Получено 02.08.2018; в отредактированной форме – 30.11.2018; опубликовано online 18.12.2018
Ссылка А.Х.Абдуев, А.К. Ахмедов, А.Ш. Асваров, Ж. нано- электрон. физ. 10 № 6, 06020 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(6).06020
PACS Number(s) 81.15.Cd, 68.55.ag
Ключевые слова Оксид цинка, Оксид олова (2) , Тонкая пленка, Магнетронное распыление, Стехиометрия.
Аннотация

Исследованы процессы синтеза слоев на основе твердых растворов ZnO–SnO2 при магнетронном распылении металлической мишени Zn–Sn, керамической мишени ZnO–SnO2 и металлокерамической мишени (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn). Показано, что магнетронное распыление мишеней Zn–Sn и (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn) может сопровождаться формированием периодических структур в результате периодического изменения состава поверхностных слоев распыляемой мишени в зоне эрозии мишеней.

Список литературы