Повышение эффективности работы линейного пьезоэлектрического мотора сканирующего зондового микроскопа

Автор(ы) В.Я. Гальченко, С.А. Филимонов, А.В. Батраченко, Н.В. Филимонова
Принадлежность

Черкасский государственный технологический университет, ул. Шевченко, 460, 18006 Черкассы, Украина

Е-mail s.filimonov@chdtu.edu.ua
Выпуск Том 10, Год 2018, Номер 4
Даты Получено 12.04.2018; опубликовано online 25.08.2018
Ссылка В.Я. Гальченко, С.А. Филимонов, А.В. Батраченко, Н.В. Филимонова, Ж. нано- электрон. физ. 10 № 4, 04025 (2018)
DOI http://dx.doi.org/10.21272/jnep.10(4).04025
PACS Number(s) 77.65.Bn, 62.20.dq
Ключевые слова Пьезокерамика, Пьезокерамический мотор, Толкатель, Моделирование.
Аннотация

Работа посвящена актуальным вопросам совершенствования линейных пьезокерамических моторов сканирующих зондовых микроскопов. Описываются особенности конструирования пьезоэлектрических моторов, а именно согласование формы и геометрических параметров толкателя с пьезокерамической пластиной (статором). Определено рациональное отношение длины вершины толкателя к длине его основания. Установлена рациональная высота h конусного толкателя линейного пьезокерамического мотора. Результаты исследований позволили увеличить амплитуду колебаний  статора линейного пьезокерамического мотора в 4,5 раза. Адекватность модельных расчетов подтверждена экспериментальными исследованиями. Полученные результаты могут использоваться при проектировании пьезокерамических моторов.

Список литературы

English version of article