Структурная инженерия преимущественной ориентациии роста кристаллитов в бислойных многопериодных вакуумно-дуговых нитридных покрытиях

Автор(ы) О.В. Соболь1 , А.А. Постельник1 , Р.П. Мигущенко1 , Е.В. Оноприенко2, Т.А. Сыренко3, А.Г. Меньшиков1, А.В. Звягольский1
Принадлежность

1Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Kирпичова, 2, 61002 Харьков, Украина

2OOO "ОПТЕК", ул. Ильинская, 8, 04070 Киев, Украина

3Харьковский машиностроительный колледж, ул. Плехановская, 79, 61068 Харьков, Украина

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 10, Год 2018, Номер 3
Даты Получено 19.04.2018; опубликовано online 25.06.2018
Ссылка О.В. Соболь, А.А. Постельник, Р.П. Мигущенко, и др., Ж. нано- электрон. физ. 10 № 3, 03009 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(3).03009
PACS Number(s) 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx
Ключевые слова Структурная инженерия, Наноразмерная толщина, Многопериодное Покрытие, Структурное состояние, Ось текстуры, Сверхтвердое состояние.
Аннотация

Исследовано влияние состава слоя МеN (где Ме – Cr, Mo, Zr) в многопериодных вакуумно-дуговых (TiAlSi)N/МеN покрытиях с наноразмерной толщиной слоев на преимущественную ориентацию роста кристаллитов в слоях и твердость. Установлено, что в слоях формируются фазы на основе кубической ГЦК металлической решетки (структурного типа NaCl), хотя для MoN фазы в равновесных условиях характерен гексагональный тип кристаллической решетки. Выявлено определяющее влияние МеN слоя на формирование 3-х типов структурных состояний: с преимущественной ориентацией роста кристаллитов с осью текстуры [111], [100] и формирование не текстурированного состояния. Наибольшая твердость 47.8 ГПа была достигнута в многопериодном покрытии системы (TiAlSi)N/ZrN с осью текстуры кристаллитов [111].

Список литературы