Энтропия кластерной системы в расплаве кремния

Автор(ы) С.Л. Хрипко , А.К. Головко
Принадлежность

Запорожская государственная инженерная академия, пр. Соборный, 226, 69006 Запорожье, Украина

Е-mail akgolovko@gmail.com
Выпуск Том 10, Год 2018, Номер 2
Даты Получено 03.11.2017; опубликовано online 29.04.2018
Ссылка С.Л. Хрипко, А.К. Головко, Ж. нано- электрон. физ. 10 № 2, 02015 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(2).02015
PACS Number(s) 61.20.Gy, 81.07.Bc
Ключевые слова Микро- и наноэлектроника, Кремний, Расплав, Микрокластер, Атомная цепочка, Плотность вероятностей, Энтропия.
Аннотация

Определена кластерная составляющая полной энтропии расплава кремния в предположении гамма-распределения микрокластеров в форме цепочек с ковалентными межатомными связями. Энтропия рассчитана для температур, характерных для практики выращивания монокристаллов из расплава, а также осаждения из паровой фазы индивидуальных кластеров кремния. Результаты оценок согласуются с литературными данными для энтропии кластеров в простых жидкостях. Энтропия двух- и трёх-атомных микрокластеров при температурах, близких к температуре плавления кремния, изменяется немонотонно. Это свидетельствует о том, что в процессе выращивания монокристалла в расплаве кремния вблизи фронта кристаллизации происходит непрерывная структурная перестройка. Работа преследует цель углубления представлений о структурных аспектах процесса кристаллизации из расплава элементарных полупроводников, что может быть полезным для усовершенствования процессов выращивания их монокристаллов и аморфных плёнок.

Список литературы