Журнал нано- и електронной физики

Влияние постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов смещения на структуру и свойства вакуумно-дуговых (TiVZrNbHf)Nх покрытий

Автор(ы) О.В. Соболь1 , А.А. Постельник1 , Р.П. Мигущенко1 , В.Ф. Горбань2, В.А. Столбовой3 , А.В. Звягольскій1
Принадлежность

1Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Kирпичова 2, 61002 Харьков, Украина

2Институт проблем материаловедения им. Францевича, ул. Кржижановского, 3, 03142 Киев-142, Украина

3Национальный научный центр Харьковский физико-технический институт, ул. Академическая 1, 61108 Харьков, Украина

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 10, Год 2018, Номер 2
Даты Получено 11.12.2017; опубликовано online 29.04.2018
Ссылка О.В. Соболь, А.А. Постельник, Р.П. Мигущенко, и др., Ж. нано- электрон. физ. 10 № 2, 02035 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(2).02035
PACS Number(s) 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx
Ключевые слова Вакуумная дуга, (TiVZrNbHf)Nх, Структурная инженерия, Потенциал смещения, Импульсный потенциал, Фазовый состав, Структура (110) , Твердость.
Аннотация

Изучено влияние постоянного (Ub) и высоковольтного импульсного (Uip) потенциалов смещения, подаваемых на подложку при конденсации, на структуру и свойства вакуумно-дуговых (TiVZrNbHf)Nх покрытий. Установлено, что с увеличением Ub уменьшается число и размер капельной фазы. Использование Uip способствует однородной морфологии роста в объеме покрытия. Показано, что в результате увеличения Ub от 0 до 200 В в нитридных покрытиях высокоэнтропийных сплавов можно изменить текстуру роста [100] на [111]. Это приводит к увеличению твердости от 32 ГПа до 49 ГПа. Подача высоковольтного потенциала в импульсной форме приводит к относительному уменьшению среднего размера кристаллитов и формированию битекстурного состояния.Обсуждены условия и механизмы формирования преимущественной ориентации кристаллитов (аксиальной текстуры) вакуумно-дуговых (TiVZrNbHf)Nх покрытий и влияние текстуры на механические свойства.

Список литературы