Перемешивание на границах слоев многослойных нанопериодных покрытий системы TiNх/ZrNх: моделирование и эксперимент

Автор(ы) О.В. Соболь1 , А.А. Мейлехов1 , Р.П. Мигущенко1 , А.А. Постельник1 , Ю.Е. Сагайдашников1, В.А. Столбовой2
Принадлежность

1 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Kирпичова, 2, 61002 Харьков, Украина

2 Национальный научный центр «Харьковский физико-технический інститут», ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 6
Даты Получено 25.07.2017, опубликовано online – 24.11.2017
Ссылка О.В. Соболь, А.А. Мейлехов, Р.П. Мигущенко, и др., Ж. нано- электрон. физ. 9 № 6, 06021 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(6).06021
PACS Number(s) 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx
Ключевые слова Вакуумная дуга, TiNх/ZrNх, Период, Потенциал смещения, Фазовый состав, Структура (105) , Напряженно-деформированное состояние, Твердый раствор, Компьютерное моделирование, Твердость.
Аннотация Установлено, что критическая толщина радиационно-стимулированного дефектообразования оказывает существенное влияние на напряженно-деформированное состояние и твердость покрытиях с малым Λ ≈ 10 нм. При этом происходит релаксация напряженно-деформированного состояния сжатия и уменьшается твердость. Однако образование твердого раствора при сохранении части непрореагировавшего слоя нитрида титана при Λ  10 нм позволяет получить сверхвысокую (44,8 ГПа) твердость покрытия.

Список литературы