Структурно-фазовые и электрофизические свойства нанокомпозитов на базе системы «стекло-Ni3B», полученные отжигом электронным пучком

Автор(ы) Я.И. Лепих, Т.И. Лавренова, Н.М. Садовая
Принадлежность

Межведомственный научно-учебный физико-технический центр МОН и НАН Украины при Одесском национальном университете имени И.И. Мечникова, ул. Дворянская, 2, 06582 Одесса, Украина

Е-mail ndl_lepikh@onu.edu.ua
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 5
Даты Получено 24.08.2017, опубликовано online – 16.10.2017
Ссылка Я.И. Лепих, Т.И. Лавренова, Н.М. Садовая, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 5, 05005 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(5).05005
PACS Number(s) 60.61
Ключевые слова Материалы для пленочных элементов гибридных интегральных схем, Структурно-фазовые и электрофизические свойства.
Аннотация В работе исследована возможность замены проводников на основе драгоценных рутениевых, серебро – палладиевых и золотых материалов в толстопленочных элементах гибридных интегральных схем проводниками на основе борида никеля. Исследовано структурно-фазовые и электрофизические свойства пленочных проводниковых элементов на основе Ni3B, полученных при отжиге с помощью электронного пучка (ЭП) и в печи. Установлено, что функциональные материалы на основе Ni3В достаточно стабильные при радиационно-термическом воздействии и могут быть использованы при изготовлении проводящих паст. Проводниковые элементы на основе никеля, которые отожжены с помощью ЭП, по своим электрофизическим параметрам не уступают проводникам на основе соединений рутения, серебра-палладия, выдерживая многократный отжиг без ухудшения свойств.

Список литературы