Структура и оптические свойства тонких пленок CdS и CdTe для солнечных элементов на гибких подложках, полученных магнетронным распылением на постоянном токе

Автор(ы) Г.И. Копач , Р.П. Мигущенко , Г.С. Хрипунов , А.И. Доброжан , Н.М. Харченко
Принадлежность

Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичова, 2, 61002 Харьков, Украина

Е-mail gkopach@ukr.net
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 5
Даты Получено 31.08.2017, опубликовано online – 16.10.2017
Ссылка Г.И. Копач, Р.П. Мигущенко, Г.С. Хрипунов, и др., Ж. нано- электрон. физ. 9 № 5, 05035 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(5).05035
PACS Number(s) 81.05.Dz, 81.15.Cd
Ключевые слова Сульфид кадмия, Теллурид кадмия, Магнетронное распыление на постоянном токе, Солнечный элемент, Тонкие пленки.
Аннотация Исследовано кристаллическую структуру и оптические характеристики слоев широкозонного окна CdS и базовых слоев CdTe, полученных с помощью магнетронного распыления на постоянном токе на стеклянных или полиимидной подложках, а также выходные параметре гибких тонкопленочных солнечных батарей на их основе. Ширина запрещенной зоны материала в полученных пленках CdS гексагональной модификации составляет Eg  2,38-2,41 эВ, а оптическая прозрачность пленок CdS составляет 80-90%. Проведение хлоридной обработки слоев CdTe, полученных при Т  300 °С, способствует фазовому переходу вюртцит-сфалерит. Охлаждение слоев ITO/CdS до комнатной температуры перед конденсацией базового слоя CdTe, вынесения на воздух и последующий нагрев в вакууме до необходимой температуры подложки приводит к увеличению коэффициента полезного действия и напряжения холостого хода гибкого тонкопленочного солнечного элемента полиимид/ITO/CdS/CdTe/Cu/Ag.

Список литературы