Влияние параметров магнетронного распыления на структуру и субструктурные харак-теристики пленок диборида тантала
| Автор(ы) | А.А. Гончаров , А.Н. Юнда , И.В. Шелест , В.В. Буранич |
| Принадлежность | Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина |
| Е-mail | o.goncharov@mss.sumdu.edu.ua |
| Выпуск | Том 9, Год 2017, Номер 4 |
| Даты | Получено 25.04.2017, в отредактированной форме – 25.07.2017, опубликовано online – 27.07.2017 |
| Ссылка | А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, И.В. Шелест, В.В. Буранич, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 4, 04014 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(4).04014 |
| PACS Number(s) | 68.35. – p, 68.55.A –, 68.60.Bs, 81.07.Bc, 81.15.Cd |
| Ключевые слова | Магнетронное распыление, Диборид тантала, Потенциал смещения, Структура (170) , Нанотвердость, Модуль упругости. |
| Аннотация | В работе проводились исследования влияния параметров магнетронного (ВЧ и ПТ) распыления на формирование структуры и субструктурных характеристик защитных покрытий на основе тонких пленок диборида тантала. Результаты проведенных исследований показали, что знак и величина приложенного потенциала смещения при использовании обоих типов магнетронного распыления (ВЧ и ПС) имеет определяющее влияние на формирование их структуры и субструктурных свойств. Установлено, что нанокристаллические пленки диборида тантала сверхстехиометрического состава (СВ/CTa ≈ 2,2-2,6), обладающие сильной текстурой роста плоскостью (00.1) были получены при потенциале смещения + 50 В и – 50 В при ВЧ- и ПТ-магнетронном распылениях соответственно. При этом полученные пленки имели наилучшие физико-механические свойства и общие характерные субструктурные величины: размер нанокристаллитов ~ 30 нм, и увеличенное значение параметра «с» по сравнению с табличным. |
|
Список литературы |
Другие статьи этого номера
1) Influence of Characteristic Energies and Charge Carriers Mobility on the Performance of a HIT Solar Cell [04001-1-04001-5]2) The Performance Optimization of Thin-Film Solar Converters Based on n-ZnMgO / p-CuO Heterojunctions [04002-1-04002-4]
3) Synthesis and Characterization of a New Aluminium Complex Bis (5-choloro-8-hydroxyquinoline)(2,2’bipyridine) Aluminium Al(Bpy)(5-Clq)2 [04003-1-04003-4]
4) Small Signal Parameter Extraction of III-V Heterojunction Surrounding Gate Tunnel Field Effect Transistor [04004-1-04004-4]
5) A Simple Approach on Synthesis of TiO2 Nanoparticles and its Application in dye Sensitized Solar Cells [04005-1-04005-6]
6) Study and Analysis of SBD Detector Sensitivity Based on Au-InP and Au-GaAs Structures [04006-1-04006-5]
7) Impact of SWCNT Band Gaps on the Performance of a Ballistic Carbon Nanotube Field Effect Transistors (CNTFETs) [04007-1-04007-5]
8) Влияние структурно-фазового состояния на магниторезистивные свойства пленочных систем на основе FexNi100 – x и Cu [04008-1-04008-5]
9) Polaron Model of Traps and their Activation Energies in KBr Crystals [04009-1-04009-5]
10) Изменение проводимости кремниевых структур в атмосфере оксида азота: квантовохимическое моделирование [04010-1-04010-6]
11) Магниторезистивные и магнито-оптические эффекты в гранулированных пленочных сплавах на основе Co, Au и Fe [04011-1-04011-6]
12) New Higher Excited Energy Levels of Rydberg States for Weakest Bound Potential Model Theory: Extended Quantum Mechanics [04012-1-04012-7]
13) Особенности модифицирующей обработки низкоуглеродистых сталей сильноточными релятивистскими пучками электронов [04013-1-04013-6]
14) Модифицированный метод измерения величины спонтанной поляризациисегнетоэлектрических жидких кристаллов [04015-1-04015-5]
15) Электрон-фотонная эмиссия азотистого основания нуклеиновых кислот – цитозина в твердой фазе [04016-1-04016-5]
16) Наноструктурованые материалы на основе гидроксиапатита и альгината в медицине [04017-1-04017-12]
17) Comparative Analysis of CNTFET and CMOS Logic based Arithmetic Logic Unit [04018-1-04018-4]
18) Development of Numerical Method for Optimizing Silicon Solar Cell Efficiency [04019-1-04019-6]
19) Фотоэлектрическое преобразование сигнала в глубоком p-n- переходе как способ детектирования карбоновых нанотрубок с адсорбированным сульфанолом в водном растворе [04020-1-04020-6]
20) Формирование фотоакустического отклика в наноструктурированных композитных системах «пористая матрица - жидкость» [04021-1-04021-7]
21) Magnetic First-order Phase Transitions in Nano-cluster Systems within the Framework of Landau Approximation [04022-1-04022-5]
22) Закономерности формирования нитридных покрытий на основе многокомпонентных сплавов [04023-1-04023-5]
23) Энергетический спектр сигналов акустической эмиссии в сложных средах [04024-1-04024-5]
24) Первопринципное моделирование взаимодействия краевой дислокации с примесными атомами кислорода и углерода в кремнии [04025-1-04025-4]
25) Режим сверхбыстрого атомного транспорта и другие процессы в сплаве титана, модифицированого ионной и циклической термической обработкой [04026-1-04026-6]
26) Исследование электрических полей приемного пьезокерамического преобразователя с согласующим слоем [04027-1-04027-7]
27) Thermoelectric Properties of the Colloidal Bi2S3-Based Nanocomposites [04028-1-04028-3]