Получение блочных наноструктур на поверхности фосфида индия

Автор(ы) Я.А. Сычикова
Принадлежность

Бердянский государственный педагогический университет, ул. Шмидта, 4, 71100 Бердянск, Украина

Е-mail yanasuchikova@mail.ru
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 3
Даты Получено 14.02.2017, опубликовано online – 30.06.2017
Ссылка Я.А. Сычикова, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 3, 03005 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(3).03005
PACS Number(s) 61.43Gt, 78.30Fs, 78.55m
Ключевые слова Фосфид индия, Наноструктуры, Блоки, Электрохимическое травление, Морфология.
Аннотация В работе описывается методика создания блочных наноструктур на поверхности p-InP методом фо-тоелектрохимического травления. Использованы различные режимы травления и составы электролита. Показано, что микроморфология наноструктурированных слоев зависит от концентрации HCl в растворе электролита. Блочные наноструктуры исследованы с помощью сканирующей микроскопии, метода EDAX и дифрактометрического рентгеновского анализа. Образование блоков объяснено с помощью кинетического механизма растворения кристаллов.

Список литературы

English version of article