Структурная инженерия многослойных вакуумно-дуговых нитридных покрытий на основе Ti, Cr, Mo и Zr

Автор(ы) О.В. Соболь1 , А.А. Постельник1 , А.А. Мейлехов1 , А.А. Андреев2 , В.А. Столбовой2 , В.Ф. Горбань3
Принадлежность

1 Национальный технический университет “Харьковский политехнический институт”, ул. Кирпичева, 2, 61002, Харьков, Украина,

2 Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», ул. Академическая, 1, 61108, Харьков, Украина,

3 Институт проблем материаловедения НАН Украины, ул. Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 3
Даты Получено 13.03.2017, опубликовано online – 30.06.2017
Ссылка О.В. Соболь, А.А. Постельник, А.А. Мейлехов, и др., Ж. нано- электрон. физ. 9 № 3, 3 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(3).03003
PACS Number(s) 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx
Ключевые слова Вакуумно-дуговой метод, Многопериодные покрытия, Структурная инженерия, Напряженное состояние, Твердость, Прочность.
Аннотация Методами структурных исследований (рентгеновская дифракция и электронная микроскопия) в сочетании с измерением твердости индентированием изучены возможности структурной инженерии многопериодных вакуумно-дуговых покрытий на основе нитридов переходных металлов Ti, Cr, Mo и Zr. Установлено формирование фаз с кубической кристаллической решеткой в неравновесных усло-виях при вакуумно-дуговом методе получения. Подача отрицательного потенциала смещения -200В в мононитридах приводит к преимущественному образованию текстуры кристаллитов с осью [111]. Вве-дение тонких (около 10 нм) металлических прослоек приводит к уменьшению совершенства текстуры [111] и формированию текстуры [100]. Этот эффект связывается с изменением напряженно-деформированного состояния нитридных слоев. Определено, что композиционные многопериодные покрытия (Me1N/Me2N)/(Me1/Me2) имеют большую твердость и большую стойкость по сравнению с MeN/Me. Для многопериодной системы с демпфирующими металлическими слоями – (ZrN/CrN)/(Zr/Cr), получены сверхтвердые покрытия с твердостью 46 ГПа.

Список литературы