Компьютерное моделирование радиационно-стимулированных структурных изменений и свойства многопериодной системы ZrNx/MoNx
| Автор(ы) | О.В. Соболь1 , А.А. Мейлехов1 , Т.В. Бочуля2, В.А. Столбовой3, В.Ф. Горбань4 , А.А. Постельник1 , С.М. Шевченко1, А.В. Янчев2 |
| Принадлежность | 1 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Kирпичова, 2, 61002 Харьков, Украина 2 Харьковский государственный университет питания и торговли, ул. Kлочковская, 333, 61051 Харьков, Украина 3 Национальный научный центр Харьковский физико-технический институт, ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина 4 Институт проблем материаловедения НАН Украины, ул. Кржижановского, 3, 03142 Киев-142, Украина |
| Е-mail | sool@kpi.kharkov.ua |
| Выпуск | Том 9, Год 2017, Номер 2 |
| Даты | Получено 07.03.2017, опубликовано online – 28.04.2017 |
| Ссылка | О.В. Соболь, А.А. Мейлехов, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 2, 02031 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(2).02031 |
| PACS Number(s) | 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx |
| Ключевые слова | Покрытия, ZrNx/MoNx, Период, Потенциал смещения, Фазовый состав, Структура (170) , Напряженно-деформированное состояние, Твердый раствор, Компьютерное моделирование, Твердость. |
| Аннотация | Используя комплекс методов аттестации структурного состояния в сочетании с микроиндентированием, исследовано влияние величины периода Λ (при разном отрицательном потенциале Ub, подаваемом при осаждении) на фазовый состав, структуру, напряженно-деформированное состояние и твердость многопериодных покрытий ZrNx/MoNx. Установлено формирование в слоях ZrNx и MoNx фаз с кубической решеткой и преимущественной ориентацией кристаллитов с осью [100]. Напряженно-деформированное состояние сжатия с увеличением Ub усиливается, достигая максимального значения (– 6,7 ГПа) при Λ 20 нм и Ub – 110 В. Твердость покрытий увеличивается с уменьшением Λ от 300 до 20 нм. Покрытия, полученные при Λ 20 нм и Ub – 110 В имеют наибольшую твердость 44 ГПа. При меньшем Λ и большом Ub – 110 В (в результате радиационно-стимулированного дефектообразования и перемешивания) происходит релаксация структурных напряжений сжатия и уменьшение твердости. Для объяснения полученных результатов использованы данные компьютерного моделирования повреждаемости на атомном уровне при бомбардировке ускоренными в поле Ub ионами. |
|
Список литературы |
Другие статьи этого номера
1) Effect of Single and Double Layer Antireflection Coating to Enhance Photovoltaic Efficiency of Silicon Solar [02001-1-02001-4]2) Sonochemical Synthesis of AgInS2 Quantum Dots and Characterisation [02002-1-02002-4]
3) Assessment of the H2 Followed by Air Sintering of Co-doped In2O3 Based Diluted Magnetic Semiconductors [02003-1-02003-3]
4) Analysis on Solar Panel Crack Detection Using Optimization Techniques [02004-1-02004-6]
5) Effect the Technique of Light Trapping on the Performance of Simple Junction n-p Solar Cells Based on GaAs and Si [02005-1-02005-3]
6) Smoluchowski Formulation for Simulation of Nano Core-Shell Structure Creation in Nanoparticle Fabrication by Laser Ablation in Liquid Media Process [02006-1-02006-4]
7) Получение нанокристаллов ZnS методом самораспространяющегосявысокотемпературного синтеза [02007-1-02007-4]
8) Гибкие солнечные элементы на основе базовых слоев CdTe, полученных методом магнетронного распыления [02008-1-02008-5]
9) Получение нанокомпозита анатаз / брукит с контролированными структурно- морфологическими характеристиками [02009-1-02009-6]
10) Управляемая полосно-пропускающая линия передачи на основе одноосных монокристаллических гексаферритов в доменной области [02010-1-02010-5]
11) Структура и сорбционные характеристики порошков ферритов NiCrxFe2 – xO4 [02011-1-02011-7]
12) Энергетический спектр сигналов акустической эмиссии наноразмерных объектов [02012-1-02012-4]
13) Two-Dimensional Graphene Superlattice:Energy Spectrum and Current-Voltage Characteristics [02013-1-02013-4]
14) Влияние синтетических дискретных волокон на свойства эпоксидных композитов для защитных покрытий [02014-1-02014-5]
15) Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди [02015-1-02015-4]
16) Влияние примеси бора на структуру и механические свойства гафния [02016-1-02016-5]
17) The Exact Nonrelativistic Energy Eigenvalues for Modified Inversely Quadratic Yukawa Potential Plus Mie-type Potential [02017-1-02017-7]
18) Термостимулированная люминесценция нанопроволок ZnO [02018-1-02018-3]
19) Thermally Evaporated Tin Oxide Thin Film for Gas Sensing Applications [02019-1-02019-4]
20) Тонкие пленки аморфных молекулярных полупроводников для создания поверхностных темплатов упорядоченных структур [02020-1-02020-6]
21) Магниторезистивный эффект в гранулированных пленочных сплавах на основе Ag и Fe или Со [02021-1-02021-4]
22) Фотолюминесцентные свойства PECVD пленок на основе Si, C, N [02022-1-02022-6]
23) Температурная зависимость спектров ЯКР и параметров кристаллической решетки InSe [02023-1-02023-4]
24) Кинетические эффекты, обусловленные флуктуациями толщиныквантовой полупроводниковой проволоки [02024-1-02024-4]
25) Оствальдовское созревание квантовых точек InAsSbР в рамках модифицированной теории ЛСВ [02025-1-02025-6]
26) Методика получения и свойства износостойких покрытий на основе Ti и N и Ti, Al и N [02026-1-02026-7]
27) Переходные процессы в микроэлектронных композициях Ag-Ge-In/n-GaAs [02027-1-02027-5]
28) О критическом размере перехода ферромагнетика в однодоменное состояние [02028-1-02028-17]
29) Понижение степени межфазного перемешивания в многослойных рентгеновских зеркалах Sс/Si [02029-1-02029-6]
30) Расчеты электронной структуры объемных кристаллов и нанокристаллов группы АIIВVI (CdS, CdSe) методом модельного нелокального псевдопотенциала [02030-1-02030-7]
31) Формирование регулярных доменных структур в сегнетоэлектриках при переключении поляризации в сильнонеравновесных условиях [02032-1-02032-7]
32) Characterization of Thermally Oxidized Ti6Al4V Alloys for Dental Application [02033-1-02033-3]
33) Research of the Vacancy Migration Process on the Surface of BC Nanolayer [02034-1-02034-2]