Структура и свойства вакуумно-дуговых однослойных и многопериодных двухслойных нитридных покрытий на основе слоев Ti(Al):Si
| Автор(ы) | В.М. Береснев1 , О.В. Соболь2 , А.Д. Погребняк3 , С.В. Литовченко1 , В.А. Столбовой4 , П.А. Сребнюк1, В.Ю. Новиков5, И.В. Дощечкина6, А.А. Мейлехов2 , А.А. Постельник2, У.С. Немченко1 , Б.А. Мазылин1, В.В. Круглова1 |
| Принадлежность | 1 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина, пл. Свободы, 4, 61000 Харьков, Украина 2 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичoва, 2, 61108 Харьков, Украина 3 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корcакова, 2, 40007 Сумы, Украина 4 Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», ул. Академическая, 1, 61000 Харьков, Украина 5 Белгородский национальный исследовательский университет, ул. Победы, 85, 308015 Белгород, Россия 6 Харьковский национальный автодорожный университет, ул. Я. Мудрого, 25, 61200 Харьков, Украина |
| Е-mail | |
| Выпуск | Том 9, Год 2017, Номер 1 |
| Даты | Получено 06.12.2016, в отредактированной форме – 17.02.2017, опубликовано online – 20.02.2017 |
| Ссылка | В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк и др. Ж. нано- электрон. физ. 9 №1, 01033 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(1).01033 |
| PACS Number(s) | 61.46. – w, 62.20.Qp, 62-65. – g |
| Ключевые слова | Нитридные покрытия, Многослойное покрытие, Элементный состав, Структура (147) , Микротвердость. |
| Аннотация | Проанализировано влияние условий осаждения на структурно-фазовое состояние и термическую стабильность вакуумно-дуговых покрытий на основе слоев Ti(Al):Si. Исследованы однофазные однослойные покрытия, а также многопериодные бислойные покрытия с прослойками второй фазы из нитрида одного из трех металлов – Mo, Cr, Zr. Установлено, что в покрытии могут формироваться решетки гексагонального и кубического типов, причем переход к кубической решетке происходит при содержании Al около 25 ат. %. Наличие в бислойных многопериодных композициях вторых наноразмерных (7-8 нм) слоев, состоящих из одного нитрида из группы CrNx, MoNx или ZrNx, не изменяет тип решетки в слоях [Ti(Al):Si]Nx. В слоях CrNx и ZrNx также формируется ГЦК решетка с сильно- или слабовыраженной текстурой [111], а в слоях MoN – кристаллиты с решеткой гексагонального типа. Высокотемпературный отжиг при температуре 700 °С в течение 40 минут приводит к значительному (на 23 % или до Н 47,56 ГПа) повышению микротвердости покрытия системы [Ti(Al)]Nx/ZrNy вследствие формирования наноразмерной структуры со средним размером кристаллитов в [Ti(Al)]Nx слоях 3,8 нм, а в ZrNx слоях – 6,3 нм. |
|
Список литературы |
Другие статьи этого номера
1) Effect of π Orbital on I/V Characteristics and Transmission in Molecular Diode Structures with Au Contacts [01001-1-01001-5]2) Analog Behavioral Modeling of Schottky Diode Using Spice [01002-1-01002-4]
3) Структурные и оптико-люминесцентные характеристики керамик Mg1 – xZnxGa2O4: Mn2+ [01003-1-01003-6]
4) Thermal Modeling of an Integrated Circular Inductor [01004-1-01004-5]
5) Polyhedral Model of Carbon Nanotubes Analytically Describing their Geometry [01005-1-01005-6]
6) Сульфидная пассивация поверхности пористого фосфида индия [01006-1-01006-4]
7) Влияние условий роста кристаллов теллурида кадмия из сверхстехиометрическим кадмием на их электрофизические свойства [01007-1-01007-5]
8) Effect of Severe Plastic Deformation on Shape Memory and Mechanical Properties of Nanostructured Cu-Zn-Al Alloy [01008-1-01008-6]
9) Density Functional Study on Structural Stability and Electronic Properties of Neutral, Anionic and Cationic MgSe Nanostructures [01009-1-01009-6]
10) Определение критических значений параметров электронного луча при поверхностном оплавлении оптических элементов точного приборостроения [01010-1-01010-5]
11) Optical Properties of Pure and Eu Doped ZnSe Films Deposited by CSVS Technique [01011-1-01011-5]
12) Design of Novel Efficient Multiplexer Architecture for Quantum-dot Cellular Automata [01012-1-01012-7]
13) Метрологическое обеспечение импульсных световых измерений [01013-1-01013-5]
14) Characterization of the Microstructural and Mechanical Properties of MoZrN Coating [01014-1-01014-4]
15) Исследование температурных полей теплоносителя в установках получения 3D наноструктурированного пористого поверхностного слоя на гранулах аммиачной селитры [01015-1-01015-4]
16) Влияние межфазной границы раздела на параметры барьерных переходов металл-полупроводник [01016-1-01016-4]
17) Поверхностные плазмоны в углеродных нанотрубках эллиптического сечения [01017-1-01017-4]
18) Магнитосопротивление модифицированных углеродных нанотрубок [01018-1-01018-7]
19) Термодинамические свойства монокристаллов кремния, легированных примесью бора [01019-1-01019-4]
20) Влияние одноосного давления на σ2-проводимость сильно легированного p-Si(B) [01020-1-01020-5]
21) A Processing in Memory Realization Using Quantum Dot Cellular Automata (QCA): Proposal and Implementation [01021-1-01021-5]
22) Design Device for Subthreshold Slope in DG Fully Depleted SOI MOSFET [01022-1-01022-4]
23) Memristor Effect in Ni/TiOx/p-Si/Ni and Ni/TiOx/p-Si/TiOx/Ni Heterojunctions [01023-1-01023-3]
24) DFT Study of Intrinsic and Induced p-type Conductivity of ZnO Material [01024-1-01024-6]
25) Resistive Switching Properties of Highly Transparent SnO2:Fe [01025-1-01025-5]
26) Role of the Temperature Dependence of Elastic Modulus in the Basic Characteristics of Giant Magnetically Induced Deformation of Ferromagnetic Martensite [01026-1-01026-3]
27) Hydroxyl Properties of Hydrogenated Germanosilicate Optical Fiber Due to Thermal Treatment and Ultraviolet Irradiation [01027-1-01027-4]
28) Структурные и оптические свойства плёнок Cu2ZnSnS4 полученные методом пульсирующего спрей-пиролиза [01028-1-01028-7]
29) Some Aspect of Modern Nanotechnology and Lazer Radiation in Cancer Treament [01029-1-01029-2]
30) Two Dimensional Modeling of III-V Heterojunction Gate All Around Tunnel Field Effect Transistor [01030-1-01030-4]
31) Структура и механические свойства гафния легированного оксидом иттрия [01031-1-01031-5]
32) Структура и физико-механические свойства многопериодных вакуумно-дуговых покрытий на основе двухслойной системы TiNx/ZrNx [01032-1-01032-6]