Термодинамические свойства монокристаллов кремния, легированных примесью бора

Автор(ы) О.В. Панченко
Принадлежность

Запорожская государственная инженерная академия, пр. Соборный, 226, 69006 Запорожье, Украина

Е-mail pan.oks.81@mail.ru
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 1
Даты Получено 01.09.2016, опубликовано online – 20.02.2017
Ссылка О.В. Панченко, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 1, 01019 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(1).01019
PACS Number(s) 61.72.sd, 64.70.kg, 65.40.gd
Ключевые слова Монокристаллы кремния, Конфигурационная энтропия, Энергия Гиббса, Параметр комплексообразования, Примесь бора.
Аннотация В работе предоставлен расчет термодинамической вероятности состояния системы Si–B, т.е. число микросостояний системы при различных степенях легирования примесями. Установлена зависимость конфигурационной энтропии системы Si–B от степени легирования примеси B, а также зависимость конфигурационной энтропии данной системы с учетом комплексообразования примесей. Проведен анализ энергии Гиббса при разных степенях легирования. Работа имеет целью установить влияние образования комплексов бора на внутреннюю энергию кристалла в целом, раскрыть и углубить представление об образовании комплексов примеси бора в монокристаллах кремния.

Список литературы

English version of article