Возможность применения топологического рассмотрения к границам зерен в нанокремниевых пленках

Автор(ы) Н.Г. Находкин, Т.В. Родионова
Принадлежность

Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 64/13,01601 Киев, Украина

Е-mail rodtv@univ.kiev.ua
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 4
Даты Получено 12.09.2016, опубликовано online – 23.12.2016
Ссылка Н.Г. Находкин, Т.В. Родионова, Ж. нано- электрон. физ. 8 № 4(2), 04084 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(4(2)).04084
PACS Number(s) 68.37.Ps, 68.55._a
Ключевые слова Нанокремниевые пленки, Зернограничная структура, Атомная силовая микроскопия, Фасетирование границ зерен.
Аннотация Проведен сравнительный анализ зернограничной структуры нанокремниевых пленок, экспериментально наблюдаемой методом атомной силовой микроскопии, с существующими модельными представлениями. Показано, что топологическая модель структурных изменений может применяться для анализа преобразований зернограничной структуры только для пленок с равноосной структурой. Для пленок с волокнистой структурой топологическая модель неприемлема из-за наличия в пленках большого количества множественных стыков границ зерен и фасетирования границ зерен.

Список литературы