Экспресс метод анализа морфологических параметров графеновых покрытий на медной подложке

Автор(ы) О.В. Соболь1 , И.Н. Колупаев1, А.В. Мураховский1, В.С. Левицкий2, Т.С. Кольцова3, М.В. Козлова3, Т.В. Ларионова3, В.О. Соболь3
Принадлежность

1 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичева, 21, 61002 Харьков, Украина

2 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", ул. Профессора Попова, 5, 197376 Санкт-Петербург, Россия

3 Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, ул. Политехническая, 29, 19525 Санкт-Петербург, Российская Федерация

Е-mail
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 4
Даты Получено 30.06.2016, в отредактированной форме – 22.11.2016, опубликовано online – 29.11.2016
Ссылка О.В. Соболь, И.Н. Колупаев, А.В. Мураховский и др., Ж. нано- электрон. физ. 8 № 4(1), 04013 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(4(1)).04013
PACS Number(s) 81.05.Uw: 61.05. – a, 64.70.Nd
Ключевые слова Графеновые покрытие на меди, Технология CVD, Спектры комбинационного рассеяния, Оптическая микроскопия, Морфология покрытий, Компьютерная обработка, Мульти-пороговый анализ, Условия зарождения.
Аннотация Для получения слоев графена на медной подложке использована CVD технология в газовой смеси метана, водорода и аргона. Наряду с традиционными методами исследования морфологии роста, такими как спектроскопия комбинационного рассеяния света и атомно-силовая микроскопия, в работе для экспресс оценки степени заполнения и удельной площади областей графена использовался метод многопороговых сечений с 3-х мерным представление изображения оптической микроскопии, где в качестве третей оси Z используется шкала интенсивности. На основе полученных результатов сделаны выводы о закономерностях формирования графеновых слоев. Выявлено наличие наиболее вероятных площадей формирования графеновых доменов (~ 13 мкм2) при небольшом времени (10-20 минут) процесса получения. Увеличение времени процесса до 30 минут сопровождается повышением однородности распределения площадей формируемых доменов графена в диапазоне до 200 мкм2 при высокой их фрактальной размерности в диапазоне значений HD 1,82 ... 2 0.

Список литературы