Пьезоэлектрические плёночные волноводы поверхностных акустических волн

Автор(ы) Н.Ф. Жовнир
Принадлежность

Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт», ул. Политехническая, 16/9, 03056, Киев-56, Украина

Е-mail zhovnir101@gmail.com
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 4
Даты Получено 02.06.2016, в отредактированной форме – 22.11.2016, опубликовано online – 29.11.2016
Ссылка Н.Ф. Жовнир, Ж. нано- электрон. физ. 8 № 4(1), 04007 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(4(1)).04007
PACS Number(s) 77.65.Dq, 64.60.Ej
Ключевые слова Поверхностные акустические волны (ПАВ), Волновод и концентратор ПАВ, Дисперсионное уравнение, Дисперсия фазовой скорости волны, Оптическое зондирование.
Аннотация Приведены результаты математического моделирования пьезоэлектрических пленочных волноводных структур поверхностных акустических волн (ПАВ) на основе пленки ZnO на подложке из плавленого кварца. Полученные аналитические соотношения и результаты численных расчетов позволяют определять конструктивные параметры волноводных структур для обеспечения одномодового режима распространения ПАВ. Результаты экспериментальных исследований амплитуды и фазы ПАВ в волноводных структурах, проведенных на лазерной установке оптического зондирования, подтверждают теоретические расчеты.

Список литературы