Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN

Автор(ы) Д.А. Колесников1 , У.С. Немченко2, В.М. Береснев2, О.В. Соболь3 , В.А. Новиков1, С.В. Литовченко2, В.А. Столбовой4, И.Ю. Гончаров1 , П.В. Турбин5, Л.В. Маликов5
Принадлежность

1 Белгородский государственный национальный исследовательский университет, ул. Победы, 85, 308015 Белгород, Российская Федерация

2 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина пл. Свободы, 4, 61022 Харьков, Украина

3 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичева, 21, 61002 Харьков, Украина

4 Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина

5 Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, пл. Свободы, 6, 61022 Харьков, Украина

Е-mail
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 3
Даты Получено 28.05.2016, опубликовано online – 03.10.2016
Ссылка Д.А. Колесников, У.С. Немченко, В.М. Береснев, и др., Ж. нано- электрон. физ. 8 № 3, 03045 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(3).03045
PACS Number(s) 61.46. – w, 62.20.Qp, 62-65. – g
Ключевые слова Вакуумно-дуговое осаждение, Высокоэнтропийные сплавы, Многослойные нитридные покрытия, Физико-механические свойства покрытий.
Аннотация Показано, что при невысоком отрицательном потенциале смещения, подаваемом на подложку при осаждении (Uсм менее 150 В), в многослойных покрытиях с толщиной слоев около 50 нм можно достичь двухфазного состояния с преимущественной ориентацией кристаллитов. Это обуславливает высокую твердость (до 59 ГПа) и одновременно высокую адгезионную прочность (критическая нагрузка достигает 124,9 Н). Наблюдается низкий износ покрытия при взаимодействии с контртелом из Al2O3.

Список литературы