Влияние высокоэнтропийных составляющих нитридных слоев на содержание азота и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N

Автор(ы) В.М. Береснев1 , О.В. Соболь2 , С.В. Литовченко1 , У.С. Немченко1 , В.А. Столбовой3 , Д.А. Колесников4 , А.А. Мейлехов2 , А.А. Постельник2 , П.В. Турбин1,5, Л.В. Маликов1,5
Принадлежность

1 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина, пл. Свободы, 4, 61022 Харьков, Украина

2 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

3 Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина

4 Белгородский государственный национальный исследовательский университет, ул. Победы, 85, 308015 Белгород, Российская Федерация

5 Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, пл. Свободы, 6, 61022 Харьков, Украина

Е-mail
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 2
Даты Получено 14.04.2016, опубликовано online – 21.06.2016
Ссылка В.М. Береснев, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, и др., Ж. нано- электрон. физ. 8 № 2, 02057 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(2).02057
PACS Number(s) 81.07.Bc, 61.05.сp,68.55.jm, 61.82.Rx
Ключевые слова Многослойное покрытие (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N, Содержание азота, Структура (147) , Давление рабочего газа, Твердость.
Аннотация Используя методы элементного анализа, рентгеноструктурных исследований и измерения микротвердости, необходимые для проведения комплексных исследований по схеме: состав – структура – свойства, исследованы возможности структурной инженерии многослойных (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N покрытий. Установлено, что введение второго слоя из высокоэнтропийного сплава даже при относительно малом содержании составляющих элементов (до 1 мас. %) сопровождается формированием фазы на основе ГЦК решетки твердого раствора. Переход от однослойных TiN-Cu покрытий к многослойной системе (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N сопровождается повышением относительного содержания азота в покрытии и ростом твердости, достигающей 24,5 ГПа.

Список литературы