Возникновение дополнительной электронной проводимости кремниевых структур в атмосфере влажного аммиака: квантовохимическое моделирование

Автор(ы) Ф.А. Птащенко
Принадлежность

Одесская национальная морская академия, ул. Дидрихсона, 8, 65029 Одесса, Украина

Е-mail fed.ptas@mail.ru
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 2
Даты Получено 22.03.2016, опубликовано online – 21.06.2016
Ссылка Ф.А. Птащенко, Ж. нано- электрон. физ. 8 № 2, 02049 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(2).02049
PACS Number(s) 68.43.Bc, 82.65._r
Ключевые слова Квантово-химические расчеты, Адсорбция, Протонирование, Аммиак, Вода (3) , Кремний, Поверхностное легирование.
Аннотация В данной работе систематически поданы экспериментальные данные и критически рассмотрены их теоретические объяснения, относящиеся к изменению проводимости различных кремниевых структур при адсорбции молекул аммиака. Мы провели квантовохимические расчеты для оценки возможности возникновения электронной проводимости при протонировании молекулы NH3 на естественной поверхности Si. Наши расчеты обеспечивают полное объяснение экспериментальных результатов по этому вопросу, полученных в последнее время.

Список литературы

English version of article