Влияние на механические характеристики толщины слоев в многослойных покрытиях MoN/CrN, осаждаемых под действием отрицательного потенциала смещения

Автор(ы) В.М. Береснев1 , О.В. Соболь2 , А.В. Столбовой3, С.В. Литовченко1 , Д.А. Колесников4 , У.С. Немченко1 , А.А. Мейлехов2 , А.А. Постельник2
Принадлежность

1 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина, Харьков, Украина

2 Национальный технический университет «Харьковский Политехнический Институт», Харьков, Украина

3 Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков, Украина

4 Белгородский национальный исследовательский университет, Белгород, Россия

Е-mail
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 1
Даты Получено 16.02.2016, опубликовано online – 15.03.2016
Ссылка В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.В. Столбовой и др., Ж. нано- электрон. физ. 8 № 1, 01043 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(1).01043
PACS Number(s) 61.46. – w, 62.20. Op. 62-65. – g
Ключевые слова Многослойное покрытие MoN/CrN, Толщина слоев, Потенциал смещения, Структура (158) , Наноразмер кристаллитов, Перемешивание, Твердость, Абразивная прочность.
Аннотация С использованием метода структурной инженерии в работе проведено комплексное исследование влияния толщины слоев многослойной композиции MoN/CrN при действии постоянного отрицательного Ub на фазово-структурное состояние и механические характеристик покрытий. Выявлено, что в составляющих (Cr-N и Mo-N) слоях формируются фазы с изоструктурной кубической (типа NaCl) кристаллической решеткой с осью текстуры [311] при малом Ub = – 20 В и [111] при большом Ub = – 150 В. Установлено, что перемешивание в межграничной области слоев при больших Ub = – 150 В приводит к резкому снижению механических свойств при толщине слоев h ≤ 40 нм. Наивысшая твердость 39,8 ГПа и абразивная прочность для LC5 = 145 Н, была достигнута для h ≈ 12 нм при подаче малого Ub = – 20 В.

Список литературы