Математические модели сенсоров микроперемещений и давления на основе возмущения электрического поля поверхностных акустических волн

Автор(ы) М.Ф. Жовнир, О.О. Олейник, Л.Д. Писаренко
Принадлежность

Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт», ул. Политехническая, 16/9, 03056 Киев-56, Украина

Е-mail zhovnir101@gmail.com
Выпуск Том 8, Год 2016, Номер 1
Даты Получено 09.11.2015, опубликовано online – 15.03.2016
Ссылка М.Ф. Жовнир, О.О. Олейник, Л.Д. Писаренко, Ж нано- электрон. физ. 8 №1, 01024 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(1).01024
PACS Number(s) 77.65.Dq, 64.60.Ej
Ключевые слова Поверхностные акустические волны (ПАВ), Дисперсия фазовой скорости волны, ПАВ-генератор, Сенсор микроперемещений и давления.
Аннотация Приведены функциональные схемы, математические модели и оценка метрологических параметров сенсоров микроперемещений и давления на основе возмущения электрического поля поверхностных акустических волн (ПАВ), которые распространяются на поверхности пьезоэлектрика.

Список литературы

English version of article