Оптические свойства плазмохимических гидрогенизированных Si-C-N пленок
| Автор(ы) | А.А. Козак , В.И. Иващенко , А.К. Порада , Л.А. Иващенко , В.Я. Малахов, Т.В. Томила |
| Принадлежность | Институт проблем материаловедения, НАН Украины, ул. Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина |
| Е-mail | |
| Выпуск | Том 7, Год 2015, Номер 3 |
| Даты | Получено 31.07.2015; в отредактированной форме – 14.10.2015; опубликовано online 15.10.2015 |
| Ссылка | А.А. Козак, В.И. Иващенко, А.К. Порада, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 3, 03040 (2015) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 78.66.Jg |
| Ключевые слова | PECVD (6) , Гексаметилдисилазан, Si-C-N пленки, FTIR (22) , Оптические спектры. |
| Аннотация | Исследованы структурные свойства и энергетическая щель Si-C-N пленок, осажденных плазмохимическим методом из гексаметилдисилазана, в интервале температур 200-700 °С. Пленки были получены на кремниевых и стеклянных подложках, что дало возможность провести рентгеноструктурное исследование и изучить спектры инфракрасного (ИК) и оптического пропускания. Представление широкой полосы ИК спектров в виде гаусиан свидетельствует, что основной вклад вносят колебания Si-C, Si-N и Si-O связей. Показано, что с повышением температуры происходит интенсивная эффузии водорода с пленок. Энергетическая щель уменьшается с 2,3 до 1,6 эВ с изменением температуры подложки с 200 до 700 °С. |
|
Список литературы |
Другие статьи этого номера
1) Natural Dyes as Photosensitizers for Dye-sensitized Solar Cells [03001-1-03001-6]2) Structural and Optical Studies of 100 MeV Ni+7 Irradiated Cadmium Selenide Thin Films [03002-1-03002-3]
3) Оптические свойства наночастиц оксида цинка, легированных атомами Со, полученных методом лазерной абляции в жидкости [03003-1-03003-5]
4) Improvement of Mechanical, Thermal and Optical Properties of Barium Mixed Cobalt Tartrate Hydrate Crystals Grown by Gel Method [03004-1-03004-6]
5) CoRa: инновационный программный инструмент для спектроскопии комбинационного рассеивания [03005-1-03005-4]
6) A Study the Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films [03006-1-03006-3]
7) Потери фактора заполнения в солнечных элементах с мультикристаллического кремния [03007-1-03007-4]
8) The Impact of Cracked Microparticles on the Mechanical and the Fracture Behavior of Particulate Composite [03008-1-03008-6]
9) Influence of the Calcination Temperature on the Combustion Synthesized Perovskite LaMnO3 Compound [03009-1-03009-6]
10) Study of Short Channel Effects in n-FinFET Structure for Si, GaAs, GaSb and GaN Channel Materials [03010-1-03010-5]
11) A First Principles Study of Chalcopyrite Mn-doped AlGaP2 Compounds [03011-1-03011-5]
12) Piecewise Linear and Nonlinear Window Functions for Modelling of Nanostructured Memristor Device [03012-1-03012-4]
13) Influence of Growth Temperature on Structure and Optical Properties of Tin Oxide Films by Spray Pyrolysis Method [03013-1-03013-4]
14) Simulation the Beta Power Sources Characteristics [03014-1-03014-5]
15) Optimizing the Emitter Layer for Higher Efficiency Solar Cell Based SiGe Using AMPS1D [03015-1-03015-4]
16) Структура и электрохимические свойства лазерно облученного композита TiS2 / C [03016-1-03016-5]
17) Синтез эпитаксиальных слоев нитрида индия на подложке пористого фосфида индия [03017-1-03017-3]
18) Структурные свойства полимерного нанокомпозита сульфида цинка с альгинатом [03018-1-03018-6]
19) Подвижность электронов в сульфиде кадмия [03019-1-03019-7]
20) Оптические свойства нанокомпозита CdS : Au НЧ [03020-1-03020-4]
21) Структура и оптические свойства никель-кобальтовых ферритов, полученных методом золь-гель с участием автогорения [03021-1-03021-7]
22) Особенности теплопроводности композитов на основе термопластичных полимеров и частиц алюминия [03022-1-03022-5]
23) Сенсор волнового фронта для определения дефектов наноструктурированных поверхностей [03023-1-03023-6]
24) Ядерный квадрупольный резонанс и сенсорные свойства слоистых полупроводниковых кристаллов GaSe и InSe [03024-1-03024-5]
25) Фотолюминесценция люминофора ZnS, сонофрагментированного в растворе изопропилового спирта [03025-1-03025-5]
26) Нанотрубки оксида индия полученные методом радикало-лучевой эпитаксии [03026-1-03026-3]
27) Механизм протонирования молекул аммиака на естественно окисленной поверхности кремния [03027-1-03027-5]
28) Размерная зависимость энергии Ферми сферического металлического нанокластера [03028-1-03028-3]
29) Рассеяния электронов для одноосно деформированных монокристаллов n-Ge [03029-1-03029-6]
30) Нелинейная рефракция водной суспензии наночастиц золота [03030-1-03030-6]
31) Разработка и экспериментальная апробация электронной пушки [03031-1-03031-5]
32) Проблема предельного перехода к состояниям непрерывного спектрав задаче о движении электрона в магнитном поле [03032-1-03032-3]
33) Движение нейтральной частицы относительно электрона в однородном электрическом поле [03033-1-03033-4]
34) Изучение термоактивируемых процессов экстракции CO2 из карбонатных апатитов с использованием газовой хроматографии [03034-1-03034-9]
35) Колебательные состояния примесных микрообразований на гексагональной подложке [03035-1-03035-5]
36) Исследование внутренних механических напряжений, возникающих в структурах Si-SiO2-ЦТС [03036-1-03036-6]
37) Исследование термодатчиков на основе Si
38) Совершенствование автоматической системы управления замедлениемфизического объекта в условиях неопределенности [03038-1-03038-7]
39) Транспортировка низковольтного ленточного винтового электронного пучка для конфокального гиротрона с импульсной магнитной системой [03039-1-03039-7]
40) Comparing the Tribological Properties of the Coatings (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N and (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N + DLC [03041-1-03041-4]
41) О модифицирующем влиянии железа на вакуумные конденсаты алюминия [03042-1-03042-4]
42) О природе центров электролюминесценции в пластически деформированных кристаллах кремния p-типа [03043-1-03043-5]
43) Влияние ионной имплантации на структурно-напряженное состояние и механические свойства нитридов высокоэнтропийных сплавов (TiZrAlYNb)N и (TiZrHfVNbTa)N [03044-1-03044-6]
44) Optimizing the Materials Response in Humidity Capacitive Sensors [03045-1-03045-5]
45) Cтруктура и свойства полимерных композитов и нанокомпозитов, подвергнутых термомагнитной обработке [03046-1-03046-5]
46) A Recent Study of Quantum Atomic Spectrum of the Lowest Excitations for Schrödinger Equation with Typical Rational Spherical Potential at Planck's and Nanoscales [03047-1-03047-7]
47) Hydrogenation of Laser-crystallized a-Si:H Films [03048-1-03048-6]
48) Аномальные релаксационные процессы в двухуровневых системах [03049-1-03049-9]
49) Рентгеновский анализ образцов, содержащих наночастицы соединений кадмия [03050-1-03050-5]
50) Персоналии. Лобода Валерий Борисович [03051-1-03051-2]