Автор(ы) | М.А. Дрозденко |
Принадлежность | Институт прикладной физики НАН Украины, ул. Петропавловская, 58, 40000 Сумы, Украина |
Е-mail | Mykhailo.drozdenko@gmail.com |
Выпуск | Том 7, Год 2015, Номер 3 |
Даты | Получено 18.05.2015; в отредактированной форме – 10.06.2015; опубликовано online 20.10.2015 |
Ссылка | М.А. Дрозденко, Ж. нано- электрон. физ. 7 № 3, 03031 (2015) |
DOI | |
PACS Number(s) | 29.25.Bx, 52.38.Ph |
Ключевые слова | Катод (6) , Электронная пушка, Фокусирование, Источник рентгеновского излучения. |
Аннотация | В работе описана новая модель трехэлектродной электронной пушки с катодом непрямого накаливания для многофункциональной лабораторной установки на базе прецизионного источника электронов для реализации методов рентгеновского микроанализа. Лабораторная микроаналитическая установка была предложена на базе высоковольтной колонны растрового электронного микроскопа РЭМ-101М. В результате численного моделирования начальной модели электронной пушки были обнаружены технологические недостатки конструкции экспериментальной установки и предложен катодный узел со свободной геометрией. Численное моделирование электронно-оптической системы дало рекомендации для выбора геометрических параметров и потенциала фокусирующего электрода. Экспериментальное исследование выбранных режимов работы установки подтвердило надежность предлагаемой конструкции при использовании ее для источника рентгеновского излучения. |
Список литературы English version of article |