Нанотрубки оксида индия полученные методом радикало-лучевой эпитаксии

Автор(ы) В.В. Кидалов , А.Ф. Дяденчук
Принадлежность

Бердянский государственный педагогический университет, ул. Шмидта, 4, 71100 Бердянск, Украина

Е-mail
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 3
Даты Получено 04.06.2015; опубликовано online 20.10.2015
Ссылка В.В. Кидалов, А.Ф. Дяденчук, Ж. нано- электрон. физ. 7 № 3, 03026 (2015)
DOI
PACS Number(s) 78.30Fs, 78.55m
Ключевые слова Электрохимическое травление, Отжиг в потоке атомарного кислорода, Нанотрубки оксида индия, Метод энергодисперсионного анализа рентгеновских лучей, Рентгеновская дифрактометрия.
Аннотация В работе предлагается оригинальный метод получения встроенных нанотрубок оксида индия в пористую поверхность InP. В потоке атомарного кислорода проводен отжиг пористых образцов InP, полученных методом электрохимического травления. В результате отжига внутренняя поверхность стенок каждой поры покрывалась кислородом по всей её длине от основания (столбика фосфида индия) до поверхности образца, образуя кислородосодержащие нанотрубки, повторяющие форму пор. При помощи метода энергодисперсионного анализа рентгеновских лучей (EDAX) был изучен химический состав поверхности полученных образцов. Также методом рентгеновской дифракции изучалась структура полученных образцов.

Список литературы

English version of article