Геометрические эффекты в процессе плазменного напыления на поверхности

Автор(ы) А.С. Долгов , А.Л. Лорент
Принадлежность Национальный Аэрокосмический Университет им. Н.Е. Жуковского «ХАИ», ул. Чкалова, 17, 61070, Харьков, Украина
Е-mail alchi_ant@ukr.net
Выпуск Том 3, Год 2011, Номер 2
Даты Получено 09.02.2011, в отредактированной форме – 15.03.2011, опубликовано онлайн – 02.04.2011
Ссылка А.С. Долгов, А.Л. Лорент, Ж. нано- электрон. физ. 3 №2, 59 (2011)
DOI
PACS Number(s) 34.35.-a
Ключевые слова Отрицательная кривизна, Осаждение, Область ориентации, Расходимость потока, Угол бомбардировки.
Аннотация
Рассматривается роль широко распространенных геометрических особенностей детали и потока частиц на эффективность осаждения, и даются соответствующие рекомендации. На основе принятой аппроксимированной схемы с отрицательной кривизной определено выражение, описывающее осаждение на единицу поверхности при постоянной частоте вращения элемента поверхности. Приведены значения осаждения для различных вариантов кривизны. Рассмотрено значение расходимости потока частиц, свойственной общей картине осаждения, в качестве фактора, компенсирующего неоднородность осаждения на участке отрицательной кривизны. Выявлено, что сильная зависимость вероятности осаждения от угла бомбардировки поверхности приводит к снижению общего уровня осаждения для разных, почти противоположных форм.

Список литературы

English version of article