Влияние ионной имплантации на структурно-напряженное состояние и механические свойства нитридов высокоэнтропийных сплавов (TiZrAlYNb)N и (TiZrHfVNbTa)N

Автор(ы)	О.В. Соболь¹ , И.В. Якущенко²
Принадлежность	¹ Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина ² Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина
Е-mail	kosistivan@gmail.com
Выпуск	Том 7, Год 2015, Номер 3
Даты	Получено 16.08.2015; в отредактированной форме – 17.10.2015; опубликовано online 20.10.2015
Ссылка	О.В. Соболь, И.В. Якущенко, Ж. нано- электрон. физ. 7 № 3, 03044 (2015)
DOI
PACS Number(s)	81.40.Wx
Ключевые слова	Нитриды высокоэнтропийных сплавов, Вакуумно-дуговое испарение катода, Фазовый и элементный состав, Твердость, Ионная имплантация, Отрицательные ионы.
Аннотация	В результате осаждения наноструктурных многокомпонентных нитридных покрытий (TiZrAlYNb)N и (TiZrHfVNbTa)N происходит формирование фазы с ГЦК решеткой с размерами кристаллитов до 7 нм и 17-20 нм, соответственно. В получаемых покрытиях развиваются напряжения сжатия, величиной – 2,97 ГПа и – 3,86 ГПа для шестиэлементных нитридов, и – 0,25 ГПа и – 3,14 ГПа для пятиэлементных покрытий. Выявлена зависимость изменения напряжения от концентрации азота в покрытии и обсуждены возможные причины наблюдаемой корреляции. Имплантация ионов золота приводит к разупорядочении структуры покрытий в имплантированном слое, уменьшению размеров нанокристаллитов, и, как результат, увеличению нанотвердости покрытий до 39 ГПа.
	Список литературы Полный текст Перевод на aнглийском

Другие статьи этого номера

1) Natural Dyes as Photosensitizers for Dye-sensitized Solar Cells [03001-1-03001-6]
2) Structural and Optical Studies of 100 MeV Ni+7 Irradiated Cadmium Selenide Thin Films [03002-1-03002-3]
3) Оптические свойства наночастиц оксида цинка, легированных атомами Со, полученных методом лазерной абляции в жидкости [03003-1-03003-5]
4) Improvement of Mechanical, Thermal and Optical Properties of Barium Mixed Cobalt Tartrate Hydrate Crystals Grown by Gel Method [03004-1-03004-6]
5) CoRa: инновационный программный инструмент для спектроскопии комбинационного рассеивания [03005-1-03005-4]
6) A Study the Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films [03006-1-03006-3]
7) Потери фактора заполнения в солнечных элементах с мультикристаллического кремния [03007-1-03007-4]
8) The Impact of Cracked Microparticles on the Mechanical and the Fracture Behavior of Particulate Composite [03008-1-03008-6]
9) Influence of the Calcination Temperature on the Combustion Synthesized Perovskite LaMnO3 Compound [03009-1-03009-6]
10) Study of Short Channel Effects in n-FinFET Structure for Si, GaAs, GaSb and GaN Channel Materials [03010-1-03010-5]
11) A First Principles Study of Chalcopyrite Mn-doped AlGaP2 Compounds [03011-1-03011-5]
12) Piecewise Linear and Nonlinear Window Functions for Modelling of Nanostructured Memristor Device [03012-1-03012-4]
13) Influence of Growth Temperature on Structure and Optical Properties of Tin Oxide Films by Spray Pyrolysis Method [03013-1-03013-4]
14) Simulation the Beta Power Sources Characteristics [03014-1-03014-5]
15) Optimizing the Emitter Layer for Higher Efficiency Solar Cell Based SiGe Using AMPS1D [03015-1-03015-4]
16) Структура и электрохимические свойства лазерно облученного композита TiS2 / C [03016-1-03016-5]
17) Синтез эпитаксиальных слоев нитрида индия на подложке пористого фосфида индия [03017-1-03017-3]
18) Структурные свойства полимерного нанокомпозита сульфида цинка с альгинатом [03018-1-03018-6]
19) Подвижность электронов в сульфиде кадмия [03019-1-03019-7]
20) Оптические свойства нанокомпозита CdS : Au НЧ [03020-1-03020-4]
21) Структура и оптические свойства никель-кобальтовых ферритов, полученных методом золь-гель с участием автогорения [03021-1-03021-7]
22) Особенности теплопроводности композитов на основе термопластичных полимеров и частиц алюминия [03022-1-03022-5]
23) Сенсор волнового фронта для определения дефектов наноструктурированных поверхностей [03023-1-03023-6]
24) Ядерный квадрупольный резонанс и сенсорные свойства слоистых полупроводниковых кристаллов GaSe и InSe [03024-1-03024-5]
25) Фотолюминесценция люминофора ZnS, сонофрагментированного в растворе изопропилового спирта [03025-1-03025-5]
26) Нанотрубки оксида индия полученные методом радикало-лучевой эпитаксии [03026-1-03026-3]
27) Механизм протонирования молекул аммиака на естественно окисленной поверхности кремния [03027-1-03027-5]
28) Размерная зависимость энергии Ферми сферического металлического нанокластера [03028-1-03028-3]
29) Рассеяния электронов для одноосно деформированных монокристаллов n-Ge [03029-1-03029-6]
30) Нелинейная рефракция водной суспензии наночастиц золота [03030-1-03030-6]
31) Разработка и экспериментальная апробация электронной пушки [03031-1-03031-5]
32) Проблема предельного перехода к состояниям непрерывного спектрав задаче о движении электрона в магнитном поле [03032-1-03032-3]
33) Движение нейтральной частицы относительно электрона в однородном электрическом поле [03033-1-03033-4]
34) Изучение термоактивируемых процессов экстракции CO2 из карбонатных апатитов с использованием газовой хроматографии [03034-1-03034-9]
35) Колебательные состояния примесных микрообразований на гексагональной подложке [03035-1-03035-5]
36) Исследование внутренних механических напряжений, возникающих в структурах Si-SiO2-ЦТС [03036-1-03036-6]
37) Исследование термодатчиков на основе Si [03037-1-03037-5]
38) Совершенствование автоматической системы управления замедлениемфизического объекта в условиях неопределенности [03038-1-03038-7]
39) Транспортировка низковольтного ленточного винтового электронного пучка для конфокального гиротрона с импульсной магнитной системой [03039-1-03039-7]
40) Оптические свойства плазмохимических гидрогенизированных Si-C-N пленок [03040-1-03040-6]
41) Comparing the Tribological Properties of the Coatings (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N and (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N + DLC [03041-1-03041-4]
42) О модифицирующем влиянии железа на вакуумные конденсаты алюминия [03042-1-03042-4]
43) О природе центров электролюминесценции в пластически деформированных кристаллах кремния p-типа [03043-1-03043-5]
44) Optimizing the Materials Response in Humidity Capacitive Sensors [03045-1-03045-5]
45) Cтруктура и свойства полимерных композитов и нанокомпозитов, подвергнутых термомагнитной обработке [03046-1-03046-5]
46) A Recent Study of Quantum Atomic Spectrum of the Lowest Excitations for Schrödinger Equation with Typical Rational Spherical Potential at Planck's and Nanoscales [03047-1-03047-7]
47) Hydrogenation of Laser-crystallized a-Si:H Films [03048-1-03048-6]
48) Аномальные релаксационные процессы в двухуровневых системах [03049-1-03049-9]
49) Рентгеновский анализ образцов, содержащих наночастицы соединений кадмия [03050-1-03050-5]
50) Персоналии. Лобода Валерий Борисович [03051-1-03051-2]