Влияние ионной имплантации на структурно-напряженное состояние и механические свойства нитридов высокоэнтропийных сплавов (TiZrAlYNb)N и (TiZrHfVNbTa)N

Автор(ы) О.В. Соболь1 , И.В. Якущенко2
Принадлежность

1 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

2 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

Е-mail kosistivan@gmail.com
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 3
Даты Получено 16.08.2015; в отредактированной форме – 17.10.2015; опубликовано online 20.10.2015
Ссылка О.В. Соболь, И.В. Якущенко, Ж. нано- электрон. физ. 7 № 3, 03044 (2015)
DOI
PACS Number(s) 81.40.Wx
Ключевые слова Нитриды высокоэнтропийных сплавов, Вакуумно-дуговое испарение катода, Фазовый и элементный состав, Твердость, Ионная имплантация, Отрицательные ионы.
Аннотация В результате осаждения наноструктурных многокомпонентных нитридных покрытий (TiZrAlYNb)N и (TiZrHfVNbTa)N происходит формирование фазы с ГЦК решеткой с размерами кристаллитов до 7 нм и 17-20 нм, соответственно. В получаемых покрытиях развиваются напряжения сжатия, величиной – 2,97 ГПа и – 3,86 ГПа для шестиэлементных нитридов, и – 0,25 ГПа и – 3,14 ГПа для пятиэлементных покрытий. Выявлена зависимость изменения напряжения от концентрации азота в покрытии и обсуждены возможные причины наблюдаемой корреляции. Имплантация ионов золота приводит к разупорядочении структуры покрытий в имплантированном слое, уменьшению размеров нанокристаллитов, и, как результат, увеличению нанотвердости покрытий до 39 ГПа.

Список литературы