Текстурирование кремниевой подложки нанопорами и нанонитями Si для антиотражающих поверхностей солнечных элементов

Автор(ы) А.А. Дружинин, В.Ю. Ерохов, С.И. Ничкало, Е.И. Бережанский, Н.В. Чекайло
Принадлежность

Национальный университет "Львовская политехника", ул. С. Бандеры, 12, 79013 Львов, Украина

Е-mail
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 2
Даты Получено 16.04.2015, опубликовано online – 10.06.2015
Ссылка А.А. Дружинин, В.Ю. Ерохов, С.И. Ничкало, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 2, 02030 (2015)
DOI
PACS Number(s) 42.79.Wc, 84.60.Jt
Ключевые слова Антиотражающее покрытие, Пористый кремний, Солнечный элемент, Нанонити Si, Текстурирования поверхности, Электрохимическое травление, Фотоэлектрический преобразователь.
Аннотация Показана перспективность получения функционального многослойного антиотражающего покрытия фронтальной поверхности типа "Black Si" фотоэлектрических преобразователей путем текстурирования кремниевой поверхности методом электрохимического травления. Представлена физическая модель покрытия типа "Black Si" с дискретной неоднородностью показателя преломления и технологические аспекты получения функционального антиотражающего покрытия типа "Black Si". Приведены результаты изучения спектральных характеристик полученных многослойных мультипористих покрытий типа "Black Si" для кремниевых солнечных элементов методом электрохимического травления. Показано возможность создания текстуры поверхности кремниевой пластины с использованием нанонитей кремния, а также упорядоченных нанопор, полученных методом металл-индуцированного химического травления.

Список литературы