Структурная инженерия многослойной системы TiN / CrN, полученнойвакуумно-дуговым испарением

Автор(ы) О.В. Соболь1 , А.А. Андреев2 , В.Ф. Горбань3 , В.А. Столбовой2 , Н.В. Пинчук1 , А.А. Мейлехов1
Принадлежность

1 НТУ «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

2 ННЦ «Харьковский физико-технический институт», ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина

3 Институт проблем материаловедения НАН Украины, ул. Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 1
Даты Получено 21.11.2014, в отредактированной форме – 12.03.2015, опубликовано online – 25.03.2015
Ссылка О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01034 (2015)
DOI
PACS Number(s) 81.07.Bc, 61.05.сp, 68.55.jm, 61.82.Rx
Ключевые слова Вакуумно-дуговой метод, Давление, Потенциал смещения, CrN (7) , TiN (91) , Текстура (10) , Субструктура (7) , Микродеформация, Размер кристаллитов.
Аннотация Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования ис-следованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота 1×10 – 5…5×10 – 3 Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении (1…5)×10 – 3 Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Uпп = – 20 В – ось текстуры [100], при – 230 В – ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состояния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях.

Список литературы